スパッタエッチング装置 SPF-710特

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詳細情報

基板クリーニング用プラズマ処理装置です
下部電極に基板をのせて処理を行いますのでどのような形状でも処理可能です。
(Φ550mm、厚み10mm以内)

商品情報

リストNO 1283
品名
型式
スパッタエッチング装置
SPF-710特
メーカー キヤノンアネルバ
仕様1 SUSチャンバー 1335×750×150hmm
仕様2
平行平板型 RF 5KW
仕様3 電極Φ550 1基
仕様4 DP 10” RP 1000L/min
製造年 1982年

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