本装置は、ローディング機構、仕込室、スパッタ室、及び取出室、アンローディング機構の5セクションから構成されています。
仕込室及び取出室には、大気側はドアバルブが、また、各真空槽間には仕切りバルブが設けられています。
スパッタ室では、5インチ×7インチエクスターナル型カソードが、各ターゲット材に対し2式設けられており、基板は両側から処理が行われます。

所要水量：
本体　2Kg/cm2G（差圧）20〜25℃　約19ℓ/min
カソード　2Kg/cm2G（差圧）20〜25℃　約32ℓ/min
所要空圧：5.5Kg/cm2G以上
N2ガス：2Kg/cm2G
Arガス：0.5Kg/cm2g

据付面積：
本体　約3650W×1140D×1800H（三色灯含まず）
CPコンプレッサ　約490W×540D×660H