スパッタ装置 SPL-021

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詳細情報

スパッタ電極 Φ21”スパッタダウン
スパッタ電源 RF 10KW
基板 Φ6”4枚/バッチ(変更可)
バイアス電源 RF3KW 1台

外形寸法
本体  W2045×D1790×1730hmm 2000kg
    (昇降時2077Hmm)
RF電源 W532×D1250×1830hmm 800kg

電力  AC200V 42KVA 3相
第1種アース
冷却水 本体 24L/min 18℃〜25℃
    カソード 10L/min 18℃〜25℃
圧縮空気 0.5MPa以上 3/8
ガス Ar 0.05MPa 1/4スウエージロック
N2 0.2MPa 3/8スウエージロック

商品情報

リストNO 1473
品名
型式
スパッタ装置
SPL-021
メーカー 昭和真空
仕様1 スパッタ室Φ870×165hmm
仕様2
コンベンショナル Φ21” 1基
仕様3 RF 10KW マスフロー Ar 1台
仕様4 ターボ 10” RP 950L/min
製造年 1998年

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