スパッタ装置 SLC-11S

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詳細情報

特にコンパクトディスク用のアクリル基板上への成膜を目的とし膜厚分布、基板温度に対して独特の工夫を盛り込んでいる。

スパッタ方式:デポアップ式

外形寸法:
本体 1300W×1600D×1800H
操作盤 600W×700D×1750H
電装品BOX 600W×700D×1750H
RF電源 600W×700D×1500H
DC電源 600W×550D×1100H
クライオコンプレッサ 450W×500D×550H

商品情報

リストNO 1512
品名
型式
スパッタ装置
SLC-11S
メーカー 島津製作所
仕様1 LD室 370×550×450hmm
仕様2
スパッタ室 650×550×450hmm
仕様3 マグネトロン 6” 3基 RF 1KW DC 2KW
膜厚計付
仕様4 LD室 ターボ 5”スパッタ室 クライオ 12” RP 900L/min
製造年 1986年

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