スパッタ装置 SPF-410H

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詳細情報

冷却水:2kg/cm2 10ℓ/min 25℃以下
圧空:5〜7kg/cm2
ガス:Ar 30scc/min

設置面積:1100W×700D×1700H

操作系タッチパネルに改造済。
空き部分化粧板取付け。

商品情報

リストNO 1591
品名
型式
スパッタ装置
SPF-410H
メーカー キヤノンアネルバ
仕様1 スパッタ室 Φ400×140hmm
仕様2
マグネトロン12”1基 
仕様3 RF 5KW 真空計付 基板加熱有
仕様4 DP 6”RP 600L/min
製造年 1980年

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