スパッタ装置 SPC-530H

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詳細情報

冷却水:
装置本体 2kg/cm2 5ℓ/min 25℃以下
電極 2kg/cm2 10ℓ/min 25℃以下
圧空:5〜8kg/cm2
電力:
装置本体 3Φ 200V 60A 
RF電源 3Φ 200V 40A

操作系タッチパネルに改造済。
空き部分化粧板取付け。

商品情報

リストNO 1592
品名
型式
スパッタ装置
SPC-530H
メーカー キヤノンアネルバ
仕様1 スパッタ室560W×560D×620hmm
仕様2
5”×15”カルーセル型 2基
仕様3 RF 5KW 真空計付
仕様4 DP 10”RP 1000L/min
製造年 1980年

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