高周波電源 RFK-50ZC

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詳細情報

質量 RFユニット 30kg
   DCユニット 38kg
本高周波電源は、高周波スパッタリング、プラズマCVD、エッチングなどの用途に適する物です。
高周波負荷に対して13.56MHzで最大5kWの高周波電力を供給出来ます。

商品情報

リストNO 1653
品名
型式
高周波電源
RFK-50ZC
メーカー 京三製作所
仕様1 13.56MHz 5KW 水冷
仕様2
RFユニット:480W×550D×200hmm
DCユニット:480W×550D×150hmm
仕様3 自動整合器付
仕様4 入力 200V 3相
製造年 1998年

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