高周波電源 RFK-30ZC

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詳細情報

電源質量 45kg
本高周波電源は、高周波スパッタリング、プラズマCVD、エッチングなどの用途に適する物です。
高周波負荷に対して13.56MHzで最大3kWの高周波電力を供給出来ます。

商品情報

リストNO 1654
品名
型式
高周波電源
RFK-30ZC
メーカー 京三製作所
仕様1 13.56MHz 3KW 水冷
仕様2
外形寸法 480W×600D×199hmm
仕様3 自動整合器付
仕様4 入力 200V 3相
製造年 1996年

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