自動整合器 DH-30

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詳細情報

コントローラー付
入力インピーダンス 50Ω(整合時)

整合器は高周波電源と組み合わせて、高周波スパッタリング装置、プラズマCVD装置、エッチング装置等の励起用電源システムとして使用されます。
整合回路無くして負荷に有効な電力を供給出来ません。

商品情報

リストNO 1678
品名
型式
自動整合器
DH-30
メーカー アステック
仕様1 13.56MHz 3kW
仕様2
自動タイプ
仕様3 コントローラー DC-10
仕様4
製造年 2005年

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