イオン注入装置 UP-150

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詳細情報

外形寸法:約2500W×380D×1930Hmm
重量:4ton 

商品情報

リストNO 1698
品名
型式
イオン注入装置
UP-150
メーカー アルバック
仕様1 エネルギー範囲 30〜150keV(75AsイオンはMAX80keV) イオン種 11B 31P 75AS
仕様2
最大ビーム電流 
11B 31P 50μA以上(150keV、1価イオン)
75As 50μA以上(80keV、1価イオン)
仕様3 対応ウエハサイズ 5インチ
仕様4 ターボ 10” RP 950L/min
製造年 1998年

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