ロードロックスパッタ装置 L-430S-FHL

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詳細情報

寸法 本 体:W2251×D820×1942hmm
   操作盤:W570×D1010×1845hmm
   電 源:W560×D705×1791hmm

重量 本 体:約900kg
操作盤:約200kg
   電 源:約100kg
   クライオコンプレッサー:約100kg
   RP:約60kg

電 力:200V3相 100A
接 地:D種(第3種)
冷却水:装置本体6L/min ターゲット3L/min クライオコンプレッサー3L/min
圧縮空気:1系統
プロセスガス:3系統

備考:本装置は簡易ロードロックチャンバー付き平行平板型スパッタ装置です。
   回転成膜を前提に設計され50層まで自動成膜が可能です。

商品情報

リストNO 1705
品名
型式
ロードロックスパッタ装置
L-430S-FHL
メーカー キヤノンアネルバ
仕様1 SUSチャンバー W1020×D480×180hmm
仕様2
ターゲットΦ4” 3基
仕様3 RF600W 基板加熱 300℃
仕様4 クライオ 1600L/s RP 500L/min  
製造年 1998年

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