スパッタ装置 SPF-530H

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詳細情報

スパッタダウン方式
冷却水:
 本体:5L/min
 ターゲット:3L/min
 RF電源:5L/min
 クライオコンプレッサー:3L/min


1.5〜2kg/cm2 10ℓ/min 25℃以下
圧空:6〜8kg/cm2
ガス:Ar 100scc

商品情報

リストNO 1706
品名
型式
スパッタ装置
SPF-530H
メーカー キヤノンアネルバ
仕様1 スパッタ室 W1200×D580×250hmm
(基板ホルダーφ410mm)
仕様2
マグネトロンΦ6”×3基 
仕様3 RF 2400W 逆スパッタ付 
真空計付 基板加熱有
仕様4 クライオ 4000L/s RP 1180L/min
製造年 1992年

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