スパッタ装置 SPF-332H

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詳細情報

冷却水:1.5〜2kg/cm2 10ℓ/min 25℃以下
圧空:kg/cm2
ガス:Ar scc/min

設置面積:1200W×1020D×1820Hmm
重量:450kg

商品情報

リストNO 1744
品名
型式
スパッタ装置
SPF-332H
メーカー キヤノンアネルバ
仕様1 スパッタ室 Φ350×250hmm
仕様2
マグネトロンΦ80mm×3基 
仕様3 RF 650W 真空計付 基板加熱有
仕様4 DP 4”RP 260L/min
製造年 1992年

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