ドライエッチング装置 RIB-310

■画像をクリックすると拡大写真が表示されます

詳細情報

電子サイクロトロン共鳴(ECR)型イオン源を用いて成膜を行う装置です。
ロードロック機構付
基板 1枚
サイズ 2”、3”、100mm、125mmウエハー
電力 AC200V 70A 3相、第3種アース
冷却水 10L/min PT1/2
空圧 4.5〜5.5kg/cm2 PT1/2
N2ガス(大気圧置換用) 1/4”スエジロック
ガスライン      1/4”スエジロック

商品情報

リストNO 1746
品名
型式
ドライエッチング装置
RIB-310
メーカー キヤノンアネルバ
仕様1 ロードロック型 ECRイオン源
仕様2
プラズマ径 Φ50mm 試料 Φ50mm
仕様3 マイクロ波 2450MHz 600W
仕様4 DP 10” RP 1100L/min 160L/min
製造年 1984年

ユーザー登録がお済みでない方

価格を表示するにはユーザー登録が必要です。

ユーザー登録済みの方

ID、パスワードをお忘れの方はこちらまで >>