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吸気口 VG80
排気口 VG20
所要水量：1L/min @ 20℃
| リストNO | 5371  |
|---|---|
| 品名 型式 |
油拡散ポンプ DPF-3Z |
| メーカー | 大亜真空 |
| 吸気口径 | 3” |
| 排気速度60Hz | 280 L/s |
| 材質 | SS |
| 備考 | 100V 単相 |
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高真空ポンプ:再利用真空機器
完全オーバーホールを実施して性能確認した中古真空機器・装置の販売・メンテナンス及びレンタル。取扱商品はスパッタ装置・真空蒸着装置をはじめとして、Heリークディテクタ等の計測器や電源・電子銃・真空計・ポンプ等の単品も販売しています。