中古真空情報 070531

カセットチャンバー式スパッタ装置

メーカー:キヤノンアネルバ    型式:E-402S

年式:2008年

スパッタアップ         基板:φ4インチ用基板トレイ1枚

最大カセット数:10枚     電源:RF

ポンプ:TMP(1100L/min) ドライポンプ(スクロールタイプ)

 

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2017.05.30