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電気
200VAC 3φ 50/60Hz 約22kVA
圧空
0.6〜0.7MPa（ゲージ圧）若干量
所要ガス量
プロセス用 Ar 50sccm、N2 50sccm、O2 2.0sccm
ベント用 N2 約50L/バッチ
クライオ再生用 N2 約30L/min
冷却水
温度 20〜25℃
供給圧 0.2MPa（ゲージ圧）、背圧0.05MPa（ゲージ圧）以下
本機：24L/min、比抵抗5kΩcm以上
所要寸法重量
本機：900W×1600D×1660Hmm（上昇時2210Hmm) 800kg
操作盤：560W×1000D×1850Hmm 350kg
CPコンプレッサー：332W×543D×590Hmm 61kg
接地工事 A種及びD種
| リストNO | 1788 |
|---|---|
| 品名 型式 |
スパッタ装置 SH-350E |
| メーカー | アルバック |
| 仕様1 | スパッタ室 Φ500×220hmm |
| 仕様2 | マグネトロンΦ4”×3基 デポアップ 逆スパッタ付 |
| 仕様3 | DC 2kW RF 0.5kW 真空計付 基板回転 基板加熱300℃ |
| 仕様4 | CP 6” RP 309/253L/min |
| 製造年 | 1999年 |
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