所要スペース:約巾4600×奥行7900×高さ4720mm(ピット深さ2380、床上2350)但し、操作用スペースは含みません。
冷却水:約120ℓ/min 水温15〜25℃ 水圧2kg/cm2以上。
所要電源容量: 3Φ AC200V 約110kVA
本装置は真空槽内で下地処理されたプラスチック類及びガラス等にアルミニュウムを蒸着することを目的とするものです。
1つの真空槽に2台の治具台車が交互に入り、蒸着作業をほとんど連続的におこなえる方式です。
リストNO | 1796 |
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品名 型式 |
真空蒸着装置 LDCU-36PV-120 |
メーカー | 芝浦 |
仕様1 | チャンバー1200D×1240W×1480hmm |
仕様2 | 蒸発源 抵抗加熱式フィラメント |
仕様3 | 蒸発電源 10V 1500A 15kVA |
仕様4 | DP 36” MB 40000L/min RP 7500L/min台 |
製造年 | 1974年 |
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