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スパッタ装置 SPF-530H

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詳細情報

スパッタダウン方式
冷却水:
 本体:5L/min
 ターゲット:9L/min
 クライオコンプレッサー:3L/min
 ドレイン:3L/min

圧空:6〜8kg/cm2・G
ガス:Ar 100SCCM(供給圧 1kg/cm2・G)
   O2 20SCCM(供給圧 1kg/cm2・G)
ベントガス:N2 約40L/サイクル(供給圧 1kg/cm2・G)クライオポンプ再生にも使用します。

重量
装置本体:約1100kg
油回転ポンプ:約100kg
制御架台:約200kg
電源架台:約200kg
クライオコンプレッサー:約100kg

商品情報

リストNO 1752
品名
型式
スパッタ装置
SPF-530H
メーカー キヤノンアネルバ
仕様1 スパッタ室 W1200×D580×250hmm
(基板ホルダーφ410mm)
仕様2
マグネトロンΦ6”×3基 
仕様3 RF 1200W×3台 真空計付
基板加熱有
仕様4 クライオ 4000L/s RP 1180L/min
製造年 1996年

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