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ドライポンプ（未使用品） ESA200W(SEMI対応）

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詳細情報

外形寸法：400W×1020L×835H
重量：410kg
冷却水：3.5〜8L/min
N2供給圧:0.15〜0.7MPa

吸気口径：NW80
排気口径：NW40
ダクト接続：φ50mm×50Lmm

・大型真空チャンバの高速排気用途に最適

LCDスパッタ装置・真空乾燥プロセス・大型ロードロック室等の高速排気性能に優れ、ガス負荷に応じた回転速度自動制御機能・通信機能等の付加価値を搭載した独立設置型ドライポンプです。

商品情報

リストNO 60456
品名
型式		 ドライポンプ（未使用品）
ESA200W(SEMI対応）
メーカー 荏原製作所
排気速度60Hz 20000 L/m
排気速度50Hz 20000 L/m
仕様1 到達圧力：0.53Pa
備考 2台有　200V 3相

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