有機EL蒸発源:グリーンテック

米国レスカー社製

有機EL蒸発源

有機物材料をはじめとする低温材料の蒸着用で
有機ELデバイスの成膜に最適
有機EL蒸発源用コントローラーはこちら>>

  • 低温で揮発する有機物材料用。
  • 50℃〜600℃ですぐれた温度制御が可能。
  • 6インチ基板上に5Å/sec以上の蒸着レートで膜厚分布
    ±5%以下で成膜可能。
  • 均等加熱により有機物材料の飛散が減少
  • るつぼのクリーニングが容易。
  • 一本のボルトで取り付け可能。
  • 電力・熱電対用端子付属。
  • 膜厚計による膜厚制御が容易。
  • 温度設定が0.1℃単位で行え、精密な蒸着コントロールが可能
有機EL蒸発源

■仕様

型式 LTE10CCPB
高さ 4.00"(101.6mm)
外径 2.75"(69.9mm)
るつぼ 高純度アルミナ
容量 10cc
温度制御範囲 50℃ - 600℃
熱電対 Type K

■オプション

仕 様 型 式
シャッター機構(フィリップタイプ) PFS005000C

仕 様 型式
1"(25.4mm) 穴取り付け用フィードスルー(電力、熱電対端子付) TFT1KY2C304
CF34フランジ取り付け用フィードスルー (電力、熱電対端子付) TFT1KY2C302

仕 様 個数/パック 型 式
アルミナるつぼ 1 OLED0019