グリーンテック greentec

■低温で揮発する有機物材料用。
■50℃〜600℃ですぐれた温度制御が可能。
■6インチ基板上に5Å/sec以上の蒸着レートで膜厚分布
　±5％以下で成膜可能。
■均等加熱により有機物材料の飛散が減少

■るつぼのクリーニングが容易。
■一本のボルトで取り付け可能。
■電力・熱電対用端子付属。
■膜厚計による膜厚制御が容易。
■温度設定が0.1℃単位で行え、精密な蒸着コントロールが可能