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1154
ベルジャー付真空排気装置

EBS-10A
アルバック SUSベルジャーΦ650×650hmm
カラーΦ650×300hmm
空圧排気型
DP 10” RP 650L/min
1980年   ******  
1165
電子銃

EGL-35
アルバック 270°偏向型 1点式 10KW
ルツボ 1個 40cc
Φ50×Φ41×深25mm
適用電源 : HP-1010F,HP-1610F
1982年   ******  
1172
電子銃

EGL-20M
アルバック 270°偏向型 4点式 6KW
ルツボ 4個 20cc
Φ50×Φ46×深12mm
適用電源 : HP-1010F
1982年   ******  
1173
電子銃

EGL-20M
アルバック 270°偏向型 4点式 6KW
ルツボ 4個 20cc
Φ50×Φ46×深12mm
適用電源 : HP-1010F
1982年   ******  
1283
スパッタエッチング装置

SPF-710特
キヤノンアネルバ SUSチャンバー 1335×750×150hmm
平行平板型 RF 5KW
電極Φ550 1基
DP 10” RP 1000L/min
1982年   ******  
1292
チャンバー付真空排気装置

CME90
トッキ SUS チャンバーΦ900×900hmm
前扉式
クライオ 22”メカブ 600m3/h
RP 1800L/min
1992年   ******  
1349
スパッタ装置

FTS-LAB101
大阪真空 スパッタ室 175×240×300hmm
対向式 スパッタ電極 Φ80 1対
RF 1KW 基板加熱 700℃
ターボ 200L/S RP 360L/min
1991年   ******  
1359
ベルジャー付真空排気装置

EBS-10A
アルバック SSベルジャーΦ650×650hmm
カラーΦ450×150hmm
空圧排気型
DP 10” RP 650L/min
1974年   ******  
1423
ドライエッチング装置

DEA-503
キヤノンアネルバ SUSチャンバー Φ600×220hmm
平行平板型 RF 1KW
電極Φ470 1基 DP 10”
メカブ 100m3/h RP 1300L/min
1986年   ******  
1431
インライン式スパッタ装置

SPH-3022
昭和真空 ターゲット 5”×7” 4基 縦型両面可
トレイ 300L×150hmm ローダー20枚
DC 2KW 2台 加熱 150℃
クライオ 6” 2台 8”1台 RP 650L/min 3台
1992年   ******  
1448
ベルジャー付真空排気装置

EVD-500A
キヤノンアネルバ SUSベルジャーΦ500×750hmm φ90窓2個
カラーΦ500×130hmm CF70ポート15個
排気自動
DP 8” RP 650L/min
1984年   ******  
1451
高周波電源

RF2000
パール工業 13.56MHz 2KW
外形寸法 535×770×760hmm
手動整合器付
入力 200V 3相
1985年   ******  
1464
イオンプレーティング装置

SIP-800
昭和真空 SUSベルジャーΦ800×1100Lmm
横型 前扉式
EB 10KW 3点
クライオ 20” メカブ 600m3/h RP 1500L/min
1987年   ******  
1473
スパッタ装置

SPL-021
昭和真空 スパッタ室Φ870×165hmm
コンベンショナル Φ21” 1基
RF 10KW マスフロー Ar 1台
ターボ 10” RP 950L/min
1998年   ******  
1498
電子銃

EGL-35M
アルバック 270°偏向型 4点式 10KW
ルツボ 4個 40cc ×2 10cc ×2
X軸、Y軸偏向可能
適用電源 :HP-1010F,HP-1610F
1989年   ******  

1509

スパッタ装置

CFS-12P-100
芝浦 スパッタ室Φ1000×250hmm
マグネトロン 8” 3基 逆スパッタ付
RF 3KW 1台 オートマッチングBOX付
DP 12” RP 1200L/min
1982年   ******  
1512
スパッタ装置

SLC-11S
島津製作所 LD室 370×550×450hmm
スパッタ室 650×550×450hmm
マグネトロン 6” 3基 RF 1KW DC 2KW
膜厚計付
LD室 ターボ 5”スパッタ室 クライオ 12” RP 900L/min
1986年   ******  
1523
イオンプレーティング装置

EBX-10DIP
アルバック SUSチャンバーΦ650×800hmm
前扉式 EB 10KW 4点式 1台、抵抗 2基
公転冶具、DC 2KV、RF 500W
DP 10” RP 950L/min
1982年   ******  
1534
高電圧電源

SR100P5
スペルマン 電圧 DC +100KV 電流 50mA
入力 200V 3相
正極性
外形寸法 482×482×266hmm
1985年   ******  
1540
電子銃

EGK-3
アルバック 225°偏向型 1点式 5KW
ルツボ 1個 2.6cc
Φ21×Φ15.6×深10mm
適用電源 : HP-510C
1986年   ******  
1549
真空蒸着装置

SEC-20C
昭和真空 SUSチャンバーΦ850×2200hmm
前扉式 抵抗加熱 8基
公転冶具・膜厚計・真空計付
クライオ 20” メカブ 300m3/h RP 3000L/min
1993年   ******  
1553
スパッタ装置

SC-708
サンユー電子 スパッタ室Φ240×D240mm
電極 Φ8” 1基
電源 DC/AC 1KV 0〜50mA
ニードルバルブ付 RP 100L/min
1988年   ******  
1555
ドライエッチング装置

OMPM-306B
東京応化 平行平板 φ230電極
RF 300W 2台
ガス O2、CF4、SF6、C2Cl2F4
ターボ 4” RP 650L/min
1990年   ******  
1574
電子銃

EBG-102F6RAC
日本電子 180°偏向型 3KW
フィラメント自動交換機構付き
るつぼ別
適用電源 :JST-10F、JST-16F
1989年   ******  
1579
電子銃

JEBG-163MB
日本電子 270°偏向型 16KW
るつぼ (Φ68.1mm ×1)
金属材料専用(AL、Cu等)
適用電源 :JST-10F、16F
2000年   ******  
1584
プラズマ銃電源

EPC-3000
日本電子 制御方式:手動・半自動・外部制御切替
半自動・外部制御時はシーケンサ制御
制御機器:カソード加熱電源・コイル電源
放電電源・マスフローコントローラ
2000年   ******  
1591
スパッタ装置

SPF-410H
キヤノンアネルバ スパッタ室 Φ400×140hmm
マグネトロン12”1基 
RF 5KW 真空計付 基板加熱有
DP 6”RP 600L/min
1980年   ******  

1592

スパッタ装置

SPC-530H
キヤノンアネルバ スパッタ室560W×560D×620hmm
5”×15”カルーセル型 2基
RF 5KW 真空計付
DP 10”RP 1000L/min
1980年   ******  
1602
高周波電源

PLASMALOC2-HF
ENI 100kHz〜450kHz 1.4kW
RFコネクター Type C
入力 115V ±8% 35amps max.
外形寸法 W432×D650×445hmm 重量 87kg
1995年   ******  
1619
真空蒸着装置

EBX-10C
アルバック SUSチャンバーΦ650×800hmm
前扉式 抵抗加熱 3基
真空計 膜厚計 公転冶具付
クライオ 10” RP 950L/min
1982年   ******  
1632
ロードロックスパッタ装置

MLH-6315E
アルバック ターゲット 5”×15” 3基
トレイ2枚/バッチ基板加熱 150℃
DC10kW 2台 逆スパッタ付
クライオ10”、12”各1台 RP 950L/min 
1983年   ******  

1638

スパッタ装置

CFS-12P-100
芝浦 スパッタ室Φ1000×250hmm
マグネトロン 8” 3基 逆スパッタ付
RF 4KW 1台 オートマッチングBOX付
クライオ 12” RP 1200L/min
1991年   ******  
1639
ビームスイープコントローラー

PSG-004
アルバック 入力電圧 AC100V±10% 50/60Hz 1Φ
外形寸法 480W×250D×50hmm
外部入力信号 HEARTH 1〜4及びSWEEP切換
適応EB電源 HP-1010F HP-1610F
1990年   ******  
1640
電子銃

EGK-3
アルバック 225°偏向型 1点式 5KW
ルツボ 1個 2.6cc
Φ21×Φ15.6×深10mm
適用電源 : HP-510C
1990年   ******  
1651
電子銃用電源

JST-10F
日本電子 高電圧 DC -4kV〜-10kV 0〜1A
最大出力 10KW
X・Y軸スイープ付
外形寸法 W570×D760×1545hmm
2003年   ******  

1653

高周波電源

RFK-50ZC
京三製作所 13.56MHz 5KW 水冷
RFユニット:480W×550D×200hmm
DCユニット:480W×550D×150hmm
自動整合器付
入力 200V 3相
1998年   ******  
1655
高周波電源

AX1000LFII
ADTEC 430kHz 1KW 強制空冷
外形寸法 430W×445D×220hmm
整合器トランス付
入力 200V 3相
2002年   ******  
1660
自動整合器

DMK-18
京三製作所 27.12MHz 1.8kW
自動タイプ
冷却方式 水冷
2台有
2000年   ******  
1663
自動整合器

MBK75
京三製作所 13.56MHz 7.5kW
自動タイプ
水冷
コントローラー MAK5A
1999年   ******  
1669
2ポイントコントローラー

ST-2PNS
日本電子 JST-F EB電源用
外形寸法 480×350×50hmm
電子ビーム照射量の比 100:1〜1:100
1998年   ******  
1671
電子銃

980-7310
キヤノンアネルバ 1点式 10KW
ルツボ 10ml φ34×φ18×深18mm
スキャンニング範囲X:±15mm Y:±8mm
EGP-210RS等 2台有
1996年   ******  
1681
高周波電源

AX1000II
ADTEC 13.56MHz 1KW 空冷
外形寸法 430W×536D×220hmm
整合器別
入力 200V 3相
1996年   ******  
1689
プラズマCVD装置

PED-301
キヤノンアネルバ 反応室 Φ300×200hmm
基板ホルダー:外径φ210mm 
電極:Φ208mm 電極間隔:15〜50mm可変
使用ガス:SiH4(100sccm)・NH3(100sccm)・N2(300sccm)・H2(300sccm)・N2O(300sccm)
1991年   ******  
1691
真空蒸着装置

BMC-700
シンクロン チャンバーΦ700×1260hmm(有効高さ1210mm)
EB 3点式 10KW EB電源 D10001
抵抗加熱 4KW 真空計・水晶式膜厚計
光学式膜厚計 OPM-8
基板加熱 イオンガン φ50mm
クライオ 22”メカブ RP
1999年   ******  
1693
スパッタ装置

SBH-2206RDE
アルバック スパッタ室 Φ600×300hmm
マグネトロンΦ6”×2基 
RF 2kW DC 3kW 真空計付 基板加熱有
DP 10”RP 900L/min
1986年   ******  
1694
自動整合器

DMK45
京三製作所 27.12MHz 4.5KW
自動タイプ
冷却方式 水冷
2000年   ******  
1696
ロードロックスパッタ装置

SPF-420H・L
キヤノンアネルバ ターゲットΦ6” 2基
基板加熱 150℃・200℃
DC4.5kW RF1.5kW 逆スパッタ付
クライオ8”×2台 RP 610L/min 
1985年   ******  
1698
イオン注入装置

UP-150
アルバック エネルギー範囲 30〜150keV(75AsイオンはMAX80keV) イオン種 11B 31P 75AS
最大ビーム電流 
11B 31P 50μA以上(150keV、1価イオン)
75As 50μA以上(80keV、1価イオン)
対応ウエハサイズ 5インチ
ターボ 10” RP 950L/min
1998年   ******  
1699
ロードロック付ドライエッチング装置

L-210D-L
キヤノンアネルバ SUSチャンバー Φ200×160hmm
エッチング電極 φ120mm RF 500W
ターボ 200L/s 50L/s
RP 280L/min 90L/min
1993年   ******  
1705
ロードロックスパッタ装置

L-430S-FHL
キヤノンアネルバ SUSチャンバー W1020×D480×180hmm
ターゲットΦ4” 3基
RF600W 基板加熱 300℃
クライオ 1600L/s RP 500L/min  
1998年   ******  
1706
スパッタ装置

SPF-530H
キヤノンアネルバ スパッタ室 W1200×D580×250hmm
(基板ホルダーφ410mm)
マグネトロンΦ6”×3基 
RF 2400W 逆スパッタ付 
真空計付 基板加熱有
クライオ 4000L/s RP 1180L/min
1992年   ******  
1707
ドライエッチング装置

CSE-1110
アルバック SUSチャンバー Φ450×200hmm
RIE、エッチングアップ方式
電極Φ250 1基 RF電源 500W
DP6” メカブ 100m3/h RP 300L/min 650L/min
1985年   ******  
1711
真空蒸着装置

SBC-08C
昭和真空 SUSチャンバーΦ500×600hmm
前扉式 EB 5KW 4点
真空計付、膜厚計付
クライオ 8” RP 500/600L/min
1996年   ******  
1712
Heリークディテクタ

HELEN A250M-LD
キヤノンアネルバ 電子デバイス用
最小可変リーク量 2×10-11Pa.m3/s以下
排気系 ターボ RP
重量 約165kg
1998年   ******  
1714
真空蒸着装置

SEC-08C
昭和真空 SUSチャンバーΦ500×600hmm
前扉式 EB 10KW 4点 EB電源(新品)
公転ドーム、真空計付、膜厚計付
クライオ 8” RP 500/600L/min
2000年   ******  

1715

高周波電源

AX-1000III
ADTEC 13.56MHz 1KW 空冷
外形寸法 430W×500D×131.5hmm
整合器別
入力 200V 3相
2007年   ******  

1719

DC電源

HPK-06Z
京三製作所 スパッタ用 6KW 10A
入力 200V 3相
電源本体 W480×D500×124hmm
重量 35kg
1996年   ******  
1720
高周波電源

RP1000C
パール工業 13.56MHz 1000W
外形寸法 W480×D656×200hmm
自動整合器付
入力 200V 1相
1996年   ******  
1725
スパッタ装置

SPP-410H
キヤノンアネルバ スパッタ室 Φ400×140hmm
マグネトロン6”1基 
RF 3KW 基板加熱有 基板自公転冶具(2” 8枚×3基)
DP 6”RP 600L/min
1980年   ******  
1727
電子銃用電源

EGP-210RS-B 
キヤノンアネルバ EB電源:最大出力 10KW
X・Y軸スイープ付

2004年   ******  
1729
Heリークディテクタ(未使用品)

L300i
ライボルト ハンディタイプ 
最小検出ヘリウムリーク量 5x10-13Pa.m3/s
吸気口 KF25
2014年   ******  
1730
高周波電源

RP500
パール工業 13.56MHz 500W
自動整合器 M-05A付

入力 200V 3相
1990年   ******  
1731
真空排気セット

PMB-006C + KP-3000AG
アルバック + 丸山真空 アルバック製 PMB-006C、丸山真空製 KP-3000AG
外形寸法 W950×D950×1400hmm

2000年   ******  
1732
高周波電源

AX-1000III
ADTEC 13.56MHz 1KW 空冷
外形寸法 430W×500D×131.5hmm
整合器別
入力 200V 3相 3台有
2014年   ******  
1734
自動整合器

M-05A
パール工業 13.56MHz 500W
自動タイプ
水冷
コントローラー ZDK-916
1990年   ******  

1735

高周波電源

AX-600III
ADTEC 13.56MHz 600W 空冷
外形寸法 430W×500D×131.5hmm
整合器別
入力 200V 3相
2010年   ******  
1738
スパッタ装置

SH-350
アルバック スパッタ室 Φ500×250hmm
マグネトロンΦ4”×3基 逆スパッタ付
RF 1000W 真空計付 基板回転有
DP 6” RP 618L/min
1988年   ******  
1740
Heリークディテクタ

HELIOT301
アルバック 標準タイプ サンプル容量3L以下
感度 10-12〜10-4Pa.m3/s
排気系 ターボ RP
重量 約39kg
1997年   ******  
1741
Heリークディテクタ

HELEN A-220M-LD
キヤノンアネルバ テストポート KF25
最小可変リーク量 10-12Pa.m3/s
排気系 ターボ RP
重量 75kg
2000年   ******  

1742

パルスDC電源

RPG100
MKS(ENI) 10KW
バイアス電圧 30〜40V
デューティサイクル 0〜40%
精度 ±0.1%(定格出力の10〜100%)
1998年   ******  
1743
高周波電源

PEII 10K
AE 40kHz 10kW
外形寸法 W482×D635×177hmm
整合器無し 
水冷 
1998年   ******  
1744
スパッタ装置

SPF-332H
キヤノンアネルバ スパッタ室 Φ350×250hmm
マグネトロンΦ80mm×3基 
RF 650W 真空計付 基板加熱有
DP 4”RP 260L/min
1992年   ******  
1745
高周波電源

RP200
パール工業 13.56MHz 200W
外形寸法 W480×D455×149hmm 重量 28kg
自動整合器付
入力 200V 1相
1990年   ******  
1746
ドライエッチング装置

RIB-310
キヤノンアネルバ ロードロック型 ECRイオン源
プラズマ径 Φ50mm 試料 Φ50mm
マイクロ波 2450MHz 600W
DP 10” RP 1100L/min 160L/min
1984年   ******  

1747

高周波電源

CESAR1312
AE 13.56MHz 1.2kW
外形寸法 W482×D500×88hmm
自動整合器付 アステック TH30R コントローラー RC-11
強制空冷
2000年   ******  
1749
電子銃用電源

JST-16F
日本電子 DC-4〜-10kV
0〜1.6A
最大出力 16KW
外形寸法 570W×760D×1545hmm
  ******  
1750
電子銃用電源

HPS-510S
アルバック 加速電圧 DC -4kV〜-10kV
最大出力 5KW
XY軸スイープ付
外形寸法 W480×D620×300hmm
2005年   ******  
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