真空蒸着装置 SEC-20C

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詳細情報

基板加熱 350℃

商品情報

リストNO 1549
品名
型式
真空蒸着装置
SEC-20C
メーカー 昭和真空
仕様1 SUSチャンバーΦ850×2200hmm
仕様2
前扉式 抵抗加熱 8基
仕様3 公転冶具・膜厚計・真空計付
仕様4 クライオ 20” メカブ 300m3/h RP 3000L/min
製造年 1993年

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