ロードロックスパッタ装置 MLH-6315E

■画像をクリックすると拡大写真が表示されます

詳細情報

成膜範囲250mm

商品情報

リストNO 1632
品名
型式
ロードロックスパッタ装置
MLH-6315E
メーカー アルバック
仕様1 ターゲット 5”×15” 3基
仕様2
トレイ2枚/バッチ基板加熱 150℃
仕様3 DC10kW 2台 逆スパッタ付
仕様4 クライオ10”、12”各1台 RP 950L/min 
製造年 1983年

ユーザー登録がお済みでない方

価格を表示するにはユーザー登録が必要です。

ユーザー登録済みの方

ID、パスワードをお忘れの方はこちらまで >>