スパッタ装置 L-313S-FH

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詳細情報

冷却水:1.5〜2kg/cm2 10ℓ/min 25℃以下

設置面積:1200W×1020D×1820Hmm
重量:600kg

商品情報

リストNO 1736
品名
型式
スパッタ装置
L-313S-FH
メーカー キヤノンアネルバ
仕様1 スパッタ室 Φ350×250hmm
仕様2
マグネトロンΦ3”×1基 逆スパッタ付
仕様3 DC 2500W RF 600W 真空計付 基板加熱有
仕様4 DP 4”RP 260L/min
製造年 2001年

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