ドライポンプ V090S

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詳細情報

吸気口 VG40 排気口 NW40
冷却水 4ℓ/min以上 5〜25℃
N2パージガス流量 5〜60 L/min
重量 210Kg
外形寸法 370W×735L×545H

商品情報

リストNO 60220
品名
型式
ドライポンプ
V090S
メーカー キヤノンアネルバ
排気速度60Hz 1500 L/m
排気速度50Hz 0 L/m
仕様1 到達圧力 1.3Pa以下
備考 サイレンサー付 200V 3相

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