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スパッタ装置 SBH-2206RDE

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詳細情報

ガス導入系:Ar.O2.N2
設置面積(本体):1510W×1250D×1800Hmm
冷却水:26ℓ/min
圧空:4.5kg/cm2G以上

商品情報

リストNO 1693
品名
型式
スパッタ装置
SBH-2206RDE
メーカー アルバック
仕様1 スパッタ室 Φ600×300hmm
仕様2
マグネトロンΦ6”×2基 
仕様3 RF 2kW DC 3kW 真空計付 基板加熱有
仕様4 DP 10”RP 900L/min
製造年 1986年

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