- 低温で揮発する有機物材料用。
- 50℃〜600℃ですぐれた温度制御が可能。
- 6インチ基板上に5Å/sec以上の蒸着レートで膜厚分布
±5％以下で成膜可能。 - 均等加熱により有機物材料の飛散が減少
- るつぼのクリーニングが容易。
- 一本のボルトで取り付け可能。
- 電力・熱電対用端子付属。
- 膜厚計による膜厚制御が容易。
- 温度設定が0.1℃単位で行え、精密な蒸着コントロールが可能
■仕様
| 型式 | LTE10CCPB |
|---|---|
| 高さ | 4.00"(101.6mm) |
| 外径 | 2.75"(69.9mm) |
| るつぼ | 高純度アルミナ |
| 容量 | 10cc |
| 温度制御範囲 | 50℃ - 600℃ |
| 熱電対 | Type K |
■オプション
| 仕 様 | 型 式 |
|---|---|
| シャッター機構（フィリップタイプ） | PFS005000C |
| 仕 様 | 型式 |
|---|---|
| 1"(25.4mm) 穴取り付け用フィードスルー（電力、熱電対端子付） | TFT1KY2C304 |
| CF34フランジ取り付け用フィードスルー （電力、熱電対端子付） | TFT1KY2C302 |
| 仕 様 | 個数/パック | 型 式 |
|---|---|---|
| アルミナるつぼ | 1 | OLED0019 |