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| No. | 品名 型式 |
メーカー | 概略仕様 | 価格 |
|---|---|---|---|---|
| 8266 | オイルフィルター CFS-40-65 D40BCS |
ライボルト |
仕様： 備考：ケミカル用 |
****** |
| 8268 | オイルミストトラップ ARS-40-65 D40BCS |
ライボルト |
仕様： 備考：ケミカル用 |
****** |
| 8406 | クランプ KF16 |
仕様： 備考：31個有 |
****** | |
| 8408 | クランプ KF40 |
仕様： 備考：100個有 |
****** | |
| 8445 | ベロー短管 Φ120×100L |
仕様：2” 備考：SUS 2個有 |
****** | |
| 8509 | チェーンクランプ KF40 |
仕様： 備考：85個有 |
****** | |
| 8510 | チェーンクランプ KF50 |
仕様： 備考：5個有 |
****** | |
8550 |
オイルミストトラップ FCT-2000-50 |
富士フィルタ |
仕様： 備考：1000L/min |
****** |
| 8578 | スピンナー SP60 |
三井精密 |
仕様： 備考： |
****** |
| 8589 | 膜厚計 CRTM-5 |
アルバック |
仕様： 備考：検出器別 |
****** |
8602 |
オイルミストトラップ FCT-3000-50 |
富士フィルタ |
仕様： 備考：1500L/min |
****** |
| 8610 | キャパシタンスゲージ用表示計 CMS-401 |
キヤノンアネルバ |
仕様： 備考：オプション No.8758 ゲージ 127AA(23.8万円） |
****** |
| 8611 | オイルミストトラップ OMT-100A |
アルバック機工 |
仕様： 備考：18個有 未使用品 |
****** |
8617 |
表示計 PDR-C-1B |
MKS |
仕様： 備考： |
****** |
| 8636 | 液体窒素トラップ ST-10 |
神港精機 |
仕様：10” 備考： |
****** |
| 8653 | 液体窒素容器 シーベル |
東理社 |
仕様：50L 備考： |
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8702 |
回転導入機 HFL-020CN フランジ径Φ105 |
フェローテック |
仕様：シャフト径Φ20 備考：磁性流体 |
****** |
| 8703 | ベロー短管 φ160×110L |
仕様：3” 備考：SUS |
****** | |
8704 |
回転導入機 フランジ径Φ105 |
フェローテック |
仕様：シャフト径Φ20 備考：磁性流体 |
****** |
| 8723 | オイルクリーナー CLN-101M |
キヤノンアネルバ |
仕様： 備考： |
****** |
| 8758 | キャパシタンスゲージ 127AA |
MKS |
仕様：1Torr 備考：絶対圧型 オプション:表示計 No.8610 アネルバ CMS-401(10万円） |
****** |
| 8769 | マスフロー SEC-V110DM |
エステック |
仕様：H2S 10SCCM 備考： |
****** |
| 8789 | マスフロー SEC-E440J |
エステック |
仕様： 備考：C2H4 200SCCM |
****** |
8791 |
液体窒素トラップ CCT1022 |
VGシエンタ |
仕様：空圧 超高真空用 備考：フランジ口径：外径254mm(Φ11.0×8 PCD228.6) |
****** |
| 8792 | マスフロー FC-260J |
アエラ |
仕様：H2S 30sccm 備考：継手 VCR |
****** |
| 8801 | オイルミストトラップ FCT-8000-80B |
富士フィルタ |
仕様： 備考：4000L/min |
****** |
8802 |
オイルミストトラップ FDT-6000-65B |
富士フィルタ |
仕様： 備考：3000L/min |
****** |
| 8810 | オイルミストトラップ |
富士フィルタ |
仕様： 備考：300L/min 4個有 |
****** |
| 8821 | Oリング付センターリング NW16 ULTIC ARMOR |
日本バルカー |
仕様：耐熱、耐プラズマ 備考：最高使用温度目安 200℃ |
****** |
| 8822 | Oリング付センターリング NW40 ULTIC ARMOR |
日本バルカー |
仕様：耐熱、耐プラズマ 備考：最高使用温度目安 200℃ |
****** |
| 8823 | Oリング付センターリング NW50 ULTIC ARMOR |
日本バルカー |
仕様：耐熱、耐プラズマ 備考：最高使用温度目安 200℃ |
****** |
| 8827 | ポータブルアスピレータ MDA-006 |
アルバック機工 |
仕様：到達圧力 6.6kPa 備考： |
****** |
8829 |
キャパシタンスゲージ 631B11BFTH |
MKS |
仕様：1.333kPa 備考：継手 VCR 1/2” |
****** |
8830 |
キャパシタンスゲージ 626A21TDE |
MKS |
仕様：2.666kPa 備考：KF16 |
****** |
| 8840 | 油水分離装置 SUN-5SPWA |
大成技研 |
仕様： 備考：未使用品 |
****** |
| 8843 | マスフロー FC-260E |
アエラ |
仕様：CF4 200sccm 備考：未使用品 接続部 1/4”スウェージ |
****** |
8850 |
ピラニー真空計 GP-1SRY-C |
アルバック |
仕様：セットポイント 2点 備考：PM型 |
****** |
8858 |
キャパシタンスゲージ用表示計 PDR-C-1B |
MKS |
仕様：Torr表示 備考： |
****** |
| 8868 | 回転導入機 954-7603 |
キヤノンアネルバ |
仕様：CF34 備考：磁気結合型 |
****** |
8872 |
真空圧力スイッチ 954-7700 |
キヤノンアネルバ |
仕様：CF70 備考：OFF 大気圧-2700Pa、ON 大気圧-16000Pa |
****** |
| 8873 | ベロー短管 952-7200 |
キヤノンアネルバ |
仕様：CF70 備考：SUS L=94mm |
****** |
| 8876 | キャパシタンスゲージ/表示計 690A01TRA/270D-4 |
MKS |
仕様：1torr 備考：温度制御型 45℃ 2式有 |
****** |
8879 |
ピラニーゲージ M-350PG-SD/P15 |
キヤノンアネルバ |
仕様： 備考：φ15ゲージポート用 |
****** |
8880 |
ピラニーゲージ M-350PG-SD/N16 |
キヤノンアネルバ |
仕様：NW16フランジ付 備考：2台有 |
****** |
8890 |
超高真空計 MIG-921 |
キヤノンアネルバ |
仕様： 備考：センサー・ケーブル別 |
****** |
| 8907 | CF用ガスケット UFC70GS-Ag |
アルバック |
仕様：銀 備考：9枚セット |
****** |
| 8909 | CF用ガスケット UFC152G-Ag |
アルバック |
仕様：銀 備考：5枚セット |
****** |
| 8910 | CF用ガスケット UFC203G-Ag |
アルバック |
仕様：銀 備考：4枚セット |
****** |
8915 |
セラミックキャパシタンスマノメータ表示計 GM1000 |
アルバック |
仕様： 備考： |
****** |
| 8917 | ベロー短管 KF40 |
入江工研 |
仕様：KF40 備考：20個有 |
****** |
| 8918 | マスフロー M100B01322CS1BV |
MKS |
仕様：N2 200sccm 備考： |
****** |
| 8919 | マスフロー M100B52CS1BV |
MKS |
仕様：N2 500sccm 備考： |
****** |
| 8920 | マスフロー M100B12CS1BV |
MKS |
仕様：N2 100sccm 備考： |
****** |
| 8921 | ベロー短管 KF50 |
入江工研 |
仕様：KF50 備考：3個有 |
****** |
| 8922 | フレキチューブ VF-1016 500Lmm |
入江工研 |
仕様：KF16 備考：2個有 |
****** |
| 8923 | フレキチューブ VF-3065 500Lmm |
入江工研 |
仕様：JIS65 備考：3個有 |
****** |
| 8924 | フレキチューブ VF-1010 1000Lmm |
入江工研 |
仕様：KF10 備考： |
****** |
| 8928 | マスフロー M100B01323CS1BV |
MKS |
仕様：N2 2000sccm 備考： |
****** |
8929 |
マスフロー M100B01353CS1BV |
MKS |
仕様：N2 5000sccm 備考： |
****** |
| 8934 | マスフロー用電源 PSK-3FB |
コフロック |
仕様： 備考： |
****** |
| 8937 | 超高真空計 MIG-921 |
キヤノンアネルバ |
仕様： 備考：センサー・ケーブル別 |
****** |
| 8940 | 直線導入機 954-7627 |
キヤノンアネルバ |
仕様：CF34 備考：ベローズ 表示メモリ無 3台有 |
****** |
8947 |
表示計 DISPLAY THREE |
ライボルト |
仕様：センサー別 備考：未使用品 |
****** |
8948 |
ピラニー真空計 GP1000 |
アルバック |
仕様： 備考：測定子・ケーブル別 2台有 |
****** |
8952 |
電離真空計 M-430HG |
キヤノンアネルバ |
仕様：センサー(ミニチュアゲージ)・ケーブル別 備考：圧力表示範囲：13.2Pa〜0.1×10-7Pa |
****** |
8953 |
マスフロー SEC-E40 |
エステック |
仕様：Ar 300SCCM 備考： |
****** |
8954 |
マスフロー SEC-E40 |
エステック |
仕様：O2 100SCCM 備考： |
****** |
| 8956 | キャパシタンスゲージ 627B2TB1B |
MKS |
仕様：2.666Pa 備考：VCR |
****** |
8957 |
サーモカップル真空計 MTG-012 |
キヤノンアネルバ |
仕様：PM型 2点RY 備考： |
****** |
8958 |
ピラニー真空計 GP-2A |
アルバック |
仕様：Torr表示 備考： |
****** |
8959 |
キャパシタンスゲージ用表示計 PDR-C-1C |
MKS |
仕様： 備考： |
****** |
| 8960 | ピラニー真空計 TPG-3AR |
芝浦製作所 |
仕様： 備考： |
****** |
| 8961 | 電離真空計 HFT-7 |
芝浦製作所 |
仕様： 備考：測定範囲：1.25Pa〜1×10-5Pa |
****** |
| 8962 | フォアライントラップ |
仕様：KF40 JIS2”(VF50) 備考： |
****** | |
8963 |
電離真空計 MIG-821 |
キヤノンアネルバ |
仕様：センサー別 備考：2点RY |
****** |
8964 |
ピラニー真空計 PT-9P |
大亜真空 |
仕様：RY付 備考： |
****** |
| 8965 | CF用ガスケット CU16SP |
ATB |
仕様：CF34フランジ用 備考：25枚セット |
****** |
| 8966 | CF用ガスケット CU35SP |
ATB |
仕様：CF70フランジ用 備考：10枚セット |
****** |
| 8967 | CF用ガスケット CU63SP |
ATB |
仕様：CF114フランジ用 備考：10枚セット |
****** |
| 8968 | CF用ガスケット CU100SP |
ATB |
仕様：CF152フランジ用 備考：10枚セット |
****** |
| 8969 | CF用ガスケット CU150SP |
ATB |
仕様：CF203フランジ用 備考：10枚セット |
****** |
8970 |
ペニング真空計 IKG010 |
バルザース |
仕様： 備考：中古ペニングセンサー・ケーブル付 |
****** |
8971 |
マスフロー SEC-E40 |
エステック |
仕様：Ar 100SCCM 備考： |
****** |
| 8972 | オイルミストトラップ TM-3 |
アルバック |
仕様：取付フランジ：VF50 備考：PKS-030・VS-1501用 |
****** |
| 8973 | ガラスアダプタ 952-7822 |
キヤノンアネルバ |
仕様：CF34付 コバールガラス 備考：13個有 |
****** |
| 8974 | ベロー短管 IFB114-065 |
アルバック |
仕様：CF114（片側回転） 面間：111mm 伸縮量：+8、-13 備考： |
****** |
| 8975 | ベロー短管 954-7772 |
キヤノンアネルバ |
仕様：NW16 面間80mm MAX84mm MIN76mm 備考：4個有 |
****** |
| 8976 | 真空配管 |
アルバック |
仕様：CF114 CF70(55mm) CF34×2 (80mm) 備考： |
****** |
| 8977 | 真空配管 JISVG80-VF80 |
仕様：面間：100mm φ18ゲージポート付 G1/4ネジ 備考： |
****** | |
| 8978 | ホースアダプター JISVF40-27.2 |
仕様：フランジ：JISVF40 パイプ径：27.2mm 備考：2個有 |
****** | |
| 8979 | フレキチューブ |
仕様：3/8” パイプ L＝550 備考：4個有 |
****** | |
| 8980 | フレキチューブ |
仕様：3/8”パイプ L＝200 備考：6個有 |
****** | |
| 8981 | フレキチューブ |
仕様：1/2”パイプ L＝550 備考：4個有 |
****** | |
| 8982 | フレキチューブ |
仕様：1/2”パイプ L＝200 備考：2個有 |
****** | |
| 8983 | マスフロー FC-770AC |
アエラ |
仕様：N2 200sccm 備考：SWAGE 1/4” |
****** |
| 8984 | マスフロー SEC-410 |
エステック |
仕様：Ar 100sccm 備考：SWAGE 1/4” |
****** |
| 8985 | マスフロー SEC-410 |
エステック |
仕様：O2 20sccm 備考：SWAGE 1/4” |
****** |
| 8986 | フレキチューブ 321-6-X-12-B2 |
スウェージロック |
仕様：3/8”パイプ L＝300 備考：2個有 |
****** |
| 8987 | ピラニー真空計 GP1000 |
アルバック |
仕様： 備考：測定子・ケーブル別 |
****** |
| 8988 | セラミックキャパシタンスマノメータ表示計 GM1000 |
アルバック |
仕様： 備考：2台有 |
****** |
| 8989 | コンビネーション真空計 PC-1DA |
大亜真空 |
仕様： 備考：測定子・ケーブル別 |
****** |
| 8990 | NW-KFフランジ VP4080 |
入江工研 |
仕様：NW/KF80ブランクフランジ 備考： |
****** |
| 8991 | NW-KFフランジ VP3080 |
入江工研 |
仕様：NW/KF80Weld stub flange 備考：3個有 |
****** |
| 8992 | NW-KFフランジ VP3100 |
入江工研 |
仕様：NW/KF100Weld stub flange 備考：3個有 |
****** |
| 8993 | NW-KFフランジ用チェーンクランプ VP1080 |
入江工研 |
仕様：NW-KF80フランジ用 備考：3個有 |
****** |
| 8994 | NW-KFフランジ用チェーンクランプ VP1100 |
入江工研 |
仕様：NW-KF100フランジ用 備考： |
****** |
| 8995 | NW-KFフランジ用チェーンクランプ VP1080 |
入江工研 |
仕様：NW-KF80フランジ用 備考：2個有 |
****** |
8996 |
ペニング真空計 GI-PA |
アルバック |
仕様：測定範囲 1.3×10-3〜1.3Pa 備考：センサー(中古付） |
****** |
8997 |
マスフロー制御ユニット PAC-S5 |
エステック |
仕様：電源、表示部内蔵 備考：2台有 |
****** |
8998 |
広域型真空計 MIG-831 |
キヤノンアネルバ |
仕様：ワイドレンジ型 備考：センサー・ケーブル別 |
****** |
8999 |
電離真空計 M-430HG |
キヤノンアネルバ |
仕様：センサー(ミニチュアゲージ)・ケーブル別 備考：圧力表示範囲：13.2Pa〜0.1×10-7Pa |
****** |
| 80000 | 膜厚計 XTM/2 |
インフィコン |
仕様：レート分解能 0.123Å 備考： |
****** |
80001 |
膜厚検出器 ベーカブル検出器 |
インフィコン |
仕様：L＝320mm フランジCF70 備考：水冷 Swage1/4 |
****** |
| 80002 | NW-KF配管部品 KF50-L |
仕様：2個有 備考： |
****** | |
| 80003 | NW-KF配管部品 KF50-N |
仕様：L=100mm 備考： |
****** | |
| 80004 | NW-KF配管部品 KF50-T |
仕様： 備考： |
****** | |
| 80005 | NW-KF配管部品 KF40-L |
仕様：4個有 備考： |
****** | |
| 80006 | NW-KF配管部品 954-7793 |
キヤノンアネルバ |
仕様：NW25エルボ 備考： |
****** |
| 80007 | NW-KF配管部品 954-7812 |
キヤノンアネルバ |
仕様：NW16ティー 備考： |
****** |
| 80008 | NW-KF配管部品 954-7456 |
キヤノンアネルバ |
仕様：NW16-40変換ニップル 備考：L＝50MM |
****** |
| 80009 | NW-KF配管部品 KF25-L |
仕様： 備考： |
****** | |
| 80010 | NW-KF配管部品 KF16-L |
仕様：2個有 備考： |
****** | |
| 80011 | NW-KF配管部品 VP7010 |
入江工研 |
仕様：NW10-ティー 4個有 備考： |
****** |
| 80012 | NW-KF配管部品 VP9010 |
入江工研 |
仕様：NW16-NW10ニップル 5個有 備考：L=40 |
****** |
| 80013 | NW-KF配管部品 KF16-70 |
仕様： 備考： |
****** | |
| 80014 | サーモカップル真空計 MTG-011 |
キヤノンアネルバ |
仕様：2台有 備考：PM型 |
****** |
| 80016 | 超高真空計 MIG-921 |
キヤノンアネルバ |
仕様：3台有 備考：センサー・ケーブル別 |
****** |
80017 |
回転導入機 954-7605 |
キヤノンアネルバ |
仕様：CF70 備考：磁気結合型 |
****** |
| 80018 | 真空圧力スイッチ 954-7730 |
キヤノンアネルバ |
仕様：CF70 3台有 備考：OFF 大気圧マイナス2.7±2700Pa O N 大気圧マイナス14±2700Pa |
****** |
| 80019 | 真空圧力スイッチ 954-7720 |
キヤノンアネルバ |
仕様：φ15アダプタ 備考：OFF 大気圧マイナス2.7±2700Pa O N 大気圧マイナス16±2700Pa |
****** |
| 80020 | フォアライントラップ 956-7105 |
キヤノンアネルバ |
仕様：KF25 備考：2台有 |
****** |
| 80021 | 超高真空覗窓 954-7002 |
キヤノンアネルバ |
仕様：CF70 有効径 Φ32mm 備考：ゼロレングス |
****** |
| 80022 | 超高真空覗窓 954-7003 |
キヤノンアネルバ |
仕様：CF114 有効径 Φ60mm 4個有 備考：ゼロレングス |
****** |
| 80023 | 超高真空覗窓 954-7005 |
キヤノンアネルバ |
仕様：CF203 有効径 Φ143mm 備考：ゼロレングス |
****** |
| 80024 | シャッター機構 |
仕様：CF70 手動 2個有 備考： |
****** | |
80025 |
ロードロックエントリーハッチ |
仕様：CF203 備考：窓有効径φ95mm |
****** | |
| 80026 | 回転導入機 |
仕様：CF34 備考：ベローズ |
****** | |
80027 |
超高真空覗窓 954-7004 |
キヤノンアネルバ |
仕様：CF152 有効径 Φ98mm 備考：ゼロレングス |
****** |
80028 |
膜厚計 CRTM-9000G |
アルバック |
仕様：測定レンジ 3.0-5.01MHz @5MHz/4.0-6.01MHz @6MHz 0〜999.9kÅ（0〜99.99μm） 備考：検出器別 |
****** |
80029 |
電離真空計 GI-M2 |
アルバック |
仕様：センサー別 備考：2点RY 2台有 |
****** |
| 80030 | 4CHディスプレイユニット IM1R1 |
アルバック |
仕様：測定子接続数：1〜4台（BMP2、SC1、SH2は、いずれか1CHのみ接続可能） 備考：測定子別 2台有 |
****** |
| 80032 | 電離真空計 MIG-821 |
キヤノンアネルバ |
仕様：TCボード付 2点RY 備考：センサー、ケーブル別 |
****** |
| 80033 | マスフロー SEC-E40 |
エステック |
仕様：N2 100SCCM 備考：2台有 |
****** |
| 80034 | サーモカップル真空計 MTG-012 |
キヤノンアネルバ |
仕様：PM型 2点RY 備考： |
****** |
| 80035 | オイルミストトラップ OME25S |
アルカテル |
仕様：吸気口/排気口：NW25 備考：2005-2021SD用 |
****** |
| 80036 | 超高真空計 GI-N8 |
アルバック |
仕様： 備考：測定圧力範囲 4×10-9Pa〜6.6×10-1Pa |
****** |
| 80037 | 電離真空計 M-823HG |
キヤノンアネルバ |
仕様：セットポイントボード付 備考：センサー・ケーブル別 |
****** |
80038 |
ピラニー真空計 HPS 947 |
MKS |
仕様：測定範囲：1.3×10-1 to 1.3×10E5Pa 備考： |
****** |
| 80039 | マスフロー SEC-E40 |
エステック |
仕様：N2 200SCCM 備考：2台有 |
****** |
| 80040 | マスフロー SEC-E40 |
エステック |
仕様：N2 2SLM 備考： |
****** |
| 80042 | JIS-NW/KF配管部品 |
仕様：JISVF40-KF25 備考：L＝55MM 7個有 |
****** | |
| 80043 | マスフロー SEC-400MK3 |
エステック |
仕様：Ar 200sccm 備考：SWAGE |
****** |
| 80044 | 広域型真空計 M-833HG |
キヤノンアネルバ |
仕様： 備考：センサー・ケーブル別 |
****** |
| 80045 | サーモカップル真空計 M-012DM |
キヤノンアネルバ |
仕様： 備考：PM型 2点RY |
****** |
80046 |
膜厚計 CRTM-6000 |
アルバック |
仕様： 備考：検出器別 |
****** |
80047 |
1ゲージ用コントローラー TPG251 |
バルザース |
仕様：測定レンジ 55000〜5.00×10-11mbar 備考： |
****** |
| 80048 | ロータリーセンサー ST-6RS58 |
日本電子 |
仕様：L＝580mm 備考： |
****** |
| 80049 | ロータリーセンサー ST-6RS35 |
日本電子 |
仕様：L＝350mm 備考： |
****** |
| 80050 | ピラニー真空計 ISG1+SP1 |
アルバック |
仕様：ピラニセンサユニット SP1 備考：3台有 |
****** |
| 80051 | 1CHディスプレイユニット ISG1 |
アルバック |
仕様： 備考： |
****** |
| 80052 | 吸着トラップ 854-14 |
ライボルト |
仕様：KF16 備考： |
****** |
| 80053 | 吸着トラップ 854-16 |
ライボルト |
仕様：KF40 備考： |
****** |
| 80054 | フォアライントラップ ZRT3SKF |
VG |
仕様：KF25 備考： |
****** |
| 80055 | フォアライントラップ |
VEECO |
仕様：Φ38mmパイプ 備考： |
****** |
| 80056 | フォアライントラップ |
仕様：KF40 備考： |
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| 80057 | 液体窒素トラップ 956-7152 |
キヤノンアネルバ |
仕様：4” 備考：CDP-600用 |
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| 80058 | 1ゲージ用コントローラー TPG251 |
バルザース |
仕様：測定レンジ 55000〜5.00×10-11mbar 備考： |
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| 80059 | ピラニー真空計 GP-1SRY-C |
アルバック |
仕様：セットポイント 2点 備考：PM型 3台有 |
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| 80060 | ピラニー真空計 PT-3P |
大亜真空 |
仕様：RY付 備考： |
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| 80061 | マスフロー制御ユニット DSP-1 |
エステック |
仕様： 備考： |
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| 80062 | マスフロー SEC-400MK3 |
エステック |
仕様：N2 50sccm 備考：SWAGE 2台有 |
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80063 |
マスフロー SEC-400MK3 |
エステック |
仕様：Ar 50sccm 備考：SWAGE |
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| 80064 | マスフロー SEC-400MK3 |
エステック |
仕様：Ar 100sccm 3台有 備考：SWAGE |
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| 80065 | マスフロー SEC-400MK3 |
エステック |
仕様：O2 100sccm 3台有 備考：SWAGE |
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80066 |
膜厚計 CRTM-5000 |
アルバック |
仕様： 備考：検出器別 |
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80068 |
マスフロー（未使用品） SEC-E40 |
エステック |
仕様：Ar 500SCCM 備考：継手 VCR |
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| 80070 | 電離真空計 M-430HG |
キヤノンアネルバ |
仕様：センサー(ミニチュアゲージ)・ケーブル別 備考：圧力表示範囲：13.2Pa〜0.1×10-7Pa |
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80071 |
オイルミストトラップ EMF10 |
エドワーズ |
仕様：吸気口/排気口：NW25 備考： |
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| 80072 | オイルミストトラップ EMF20 |
エドワーズ |
仕様：吸気口/排気口：NW25 備考： |
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| 80073 | ガラスアダプタ 952-7811 |
キヤノンアネルバ |
仕様：CF70付 パイレックスガラス 備考： |
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| 80076 | 超高真空覗窓 |
仕様：CF70 有効径 Φ32mm 備考：7個有 |
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| 80077 | 超高真空覗窓 |
仕様：CF114 有効径 Φ55mm 備考：4個有 |
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| 80078 | 超高真空覗窓 |
仕様：CF152 有効径 Φ90mm 備考：2個有 |
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| 80079 | 超高真空覗窓 |
仕様：CF203 有効径 Φ135mm 備考：2個有 |
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| 80080 | ロードロックエントリーハッチ |
仕様：CF203 備考：窓有効径φ145mm |
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| 80081 | 回転導入機 954-7620 |
キヤノンアネルバ |
仕様：CF70 備考：ベローズ |
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| 80082 | 回転導入機 TDU-04FM |
アルバック |
仕様：CF34 備考：ベローズ |
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| 80083 | 回転導入機 TDU-04FM |
アルバック |
仕様：CF34 備考：ベローズ 6個有 |
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| 80084 | 回転導入機 KMMR-34 |
北野精機 |
仕様：CF34 備考：マグネット方式 2台有 |
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| 80089 | 電離真空計 M-922HG |
キヤノンアネルバ |
仕様：測定範囲 10-2Pa〜10-9Pa 備考：センサー・ケーブル別 |
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| 80090 | ピラニー真空計 MPG-011 |
キヤノンアネルバ |
仕様：測定範囲 133Pa〜1.33×10-1Pa 備考： |
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