米国レスカー社製
マグネトロンスパッタ源
半導体・セラミック・磁性体・
非磁性体等の成膜・ 超伝導薄膜の研究に最適
- 磁性材料のターゲットもスパッタ可能。
- 強力なスパッタによりデポジションレートが速い。
- ターゲット利用効率が高い。
- 成膜精度が高い。
- ターゲットの交換が容易。
- 粉末ターゲットも使用可能。
- 1"、2"、3"、4"、6"直径ターゲット用
標準型及び超高真空対応型（マグネットを外した状態で350℃迄ベーク可能）もあります。
| 型 式 | TM 1 | TM 2 | TM 3 | TM 3U | TM 4 | TM 6 | ||
| ターゲット 寸法 (mm) |
外径 | φ25.4(1") | φ50.8(2") | φ76.2(3") | φ76.2(3") | φ101.6(4") | φ152.4(6") | |
| 厚み | 非磁性 | 3.2 | 3.20-6.35 | 2.00-6.35 | 16 | |||
| 磁性 | - | 1.52-2.54 |
2.00-6.35 | - | ||||
| 最大入力 （KW） |
DC | 0.075 | 0.3 | 0.7 | 0.7 | 1.25 | 4 | |
| RF | 0.05 | 0.15 | 0.3 | 0.3 | 0.6 | 2 | ||
| ベーキング 温度 (℃) |
with magnets | 100 | ||||||
| without magnets | - | - | - | 350 | - | - | ||
| 冷却水 | （L/min）@25℃ | 1.2 | 2.8 | 2.8 | 3.8 | 2.8 | 7.6 | |
| 取 付 方 法 | φ25.4hole | φ25.4hole | φ25.4hole | CF152 | φ25.4hole | φ50.8hole | ||
| axial | axial | axial | axial | 90° | ||||
| 90° | 90° | 90° | ||||||
| flex | flex | flex | ||||||