マグネトロンスパッタ源:グリーンテック

米国レスカー社製

マグネトロンスパッタ源

半導体・セラミック・磁性体・
非磁性体等の成膜・ 超伝導薄膜の研究に最適

  • 磁性材料のターゲットもスパッタ可能。
  • 強力なスパッタによりデポジションレートが速い。
  • ターゲット利用効率が高い。
  • 成膜精度が高い。
  • ターゲットの交換が容易。
  • 粉末ターゲットも使用可能。
  • 1"、2"、3"、4"、6"直径ターゲット用
    標準型及び超高真空対応型(マグネットを外した状態で350℃迄ベーク可能)もあります。
型     式 TM 1 TM 2 TM 3 TM 3U TM 4 TM 6
ターゲット
寸法
(mm)
外径 φ25.4(1") φ50.8(2") φ76.2(3") φ76.2(3") φ101.6(4") φ152.4(6")
厚み 非磁性 3.2 3.20-6.35 2.00-6.35 16
磁性 - 1.52-2.54
2.00-6.35 -
最大入力
(KW)
DC 0.075 0.3 0.7 0.7 1.25 4
RF 0.05 0.15 0.3 0.3 0.6 2
ベーキング
温度
(℃)
with magnets 100
without magnets - - - 350 - -
冷却水 (L/min)@25℃ 1.2 2.8 2.8 3.8 2.8 7.6
取 付 方 法 φ25.4hole φ25.4hole φ25.4hole CF152 φ25.4hole φ50.8hole
axial axial axial axial 90°
90° 90° 90°
flex flex flex