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| No. | 品名 型式 |
メーカー | 概略仕様 | 製造年 | 価格 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1165 | 電子銃 EGL-35 |
アルバック |
270°偏向型 1点式 10KW ルツボ 1個 40cc Φ50×Φ41×深25mm 適用電源 ： HP-1010F，HP-1610F |
1982年 | ****** |
| 1172 | 電子銃 EGL-20M |
アルバック |
270°偏向型 4点式 6KW ルツボ 4個 20cc Φ50×Φ46×深12mm 適用電源 ： HP-1010F |
1982年 | ****** |
| 1173 | 電子銃 EGL-20M |
アルバック |
270°偏向型 4点式 6KW ルツボ 4個 20cc Φ50×Φ46×深12mm 適用電源 ： HP-1010F |
1982年 | ****** |
| 1292 | チャンバー付真空排気装置 CME90 |
トッキ |
SUS チャンバーΦ900×900hmm 前扉式 クライオ 22”メカブ 600m3/h RP 1800L/min |
1992年 | ****** |
| 1349 | スパッタ装置 FTS-LAB101 |
大阪真空 |
スパッタ室 175×240×300hmm 対向式 スパッタ電極 Φ80 1対 RF 1KW 基板加熱 700℃ ターボ 200L/S RP 360L/min |
1991年 | ****** |
| 1359 | ベルジャー付真空排気装置 EBS-10A |
アルバック |
SSベルジャーΦ650×650hmm カラーΦ450×150hmm 空圧排気型 DP 10” RP 650L/min |
1974年 | ****** |
| 1423 | ドライエッチング装置 DEA-503 |
キヤノンアネルバ |
SUSチャンバー Φ600×220hmm 平行平板型 RF 1KW 電極Φ470 1基 DP 10” メカブ 100m3/h RP 1300L/min |
1986年 | ****** |
| 1431 | インライン式スパッタ装置 SPH-3022 |
昭和真空 |
ターゲット 5”×7” 4基 縦型両面可 トレイ 300L×150hmm ローダー20枚 DC 2KW 2台 加熱 150℃ クライオ 6” 2台 8”1台 RP 650L/min 3台 |
1992年 | ****** |
| 1448 | ベルジャー付真空排気装置 EVD-500A |
キヤノンアネルバ |
SUSベルジャーΦ500×750hmm φ90窓2個 カラーΦ500×130hmm CF70ポート15個 排気自動 DP 8” RP 650L/min |
1984年 | ****** |
| 1451 | 高周波電源 RF2000 |
パール工業 |
13.56MHz 2KW 外形寸法 535×770×760hmm 手動整合器付 入力 200V 3相 |
1985年 | ****** |
| 1464 | イオンプレーティング装置 SIP-800 |
昭和真空 |
SUSベルジャーΦ800×1100Lmm 横型 前扉式 EB 10KW 3点 クライオ 20” メカブ 600m3/h RP 1500L/min |
1987年 | ****** |
| 1498 | 電子銃 EGL-35M |
アルバック |
270°偏向型 4点式 10KW ルツボ 4個 40cc ×2 10cc ×2 X軸、Y軸偏向可能 適用電源 ：HP-1010F，HP-1610F |
1989年 | ****** |
1523 |
イオンプレーティング装置 EBX-10DIP |
アルバック |
SUSチャンバーΦ650×800hmm 前扉式 EB 10KW 4点式 1台、抵抗 2基 公転冶具、DC 2KV、RF 500W DP 10” RP 950L/min |
1982年 | ****** |
1555 |
ドライエッチング装置 OMPM-306B |
東京応化 |
平行平板 φ230電極 RF 300W 2台 ガス O2、CF4、SF6、C2Cl2F4 ターボ 4” RP 650L/min |
1990年 | ****** |
| 1574 | 電子銃 EBG-102F6RAC |
日本電子 |
180°偏向型 3KW フィラメント自動交換機構付き るつぼ別 適用電源 ：JST-10F、JST-16F |
1989年 | ****** |
| 1584 | プラズマ銃電源 EPC-3000 |
日本電子 |
制御方式：手動・半自動・外部制御切替 半自動・外部制御時はシーケンサ制御 制御機器：カソード加熱電源・コイル電源 放電電源・マスフローコントローラ |
2000年 | ****** |
| 1591 | スパッタ装置 SPF-410H |
キヤノンアネルバ |
スパッタ室 Φ400×140hmm マグネトロン12”1基 RF 5KW 真空計付 基板加熱有 DP 6”RP 600L/min |
1980年 | ****** |
1602 |
高周波電源 PLASMALOC2-HF |
ENI |
100kHz〜450kHz 1.4kW RFコネクター Type C 入力 115V ±8% 35amps max. 外形寸法 W432×D650×445hmm 重量 87kg |
1995年 | ****** |
1619 |
真空蒸着装置 EBX-10C |
アルバック |
SUSチャンバーΦ650×800hmm 前扉式 抵抗加熱 3基 真空計 膜厚計 公転冶具付 クライオ 10” RP 950L/min |
1982年 | ****** |
| 1651 | 電子銃用電源 JST-10F |
日本電子 |
高電圧 DC -4kV〜-10kV 0〜1A 最大出力 10KW X・Y軸スイープ付 外形寸法 W570×D760×1545hmm |
2003年 | ****** |
| 1655 | 高周波電源 AX1000LFII |
ADTEC |
430kHz 1KW 強制空冷 外形寸法 430W×445D×220hmm 整合器トランス付 入力 200V 3相 |
2002年 | ****** |
| 1660 | 自動整合器 DMK-18 |
京三製作所 |
27.12MHz 1.8kW 自動タイプ 冷却方式 水冷 2台有 |
2000年 | ****** |
| 1663 | 自動整合器 MBK75 |
京三製作所 |
13.56MHz 7.5kW 自動タイプ 水冷 コントローラー MAK5A |
1999年 | ****** |
| 1669 | 2ポイントコントローラー ST-2PNS |
日本電子 |
JST-F EB電源用 外形寸法 480×350×50hmm 電子ビーム照射量の比 100:1〜1：100 |
1998年 | ****** |
| 1671 | 電子銃 980-7310 |
キヤノンアネルバ |
1点式 10KW 2台有 ルツボ 10ml φ34×φ18×深18mm スキャンニング範囲X:±15mm Y:±8mm EGP-210RS等 |
1996年 | ****** |
| 1681 | 高周波電源 AX1000II |
ADTEC |
13.56MHz 1KW 空冷 外形寸法 430W×536D×220hmm 整合器別 入力 200V 3相 |
1996年 | ****** |
| 1689 | プラズマCVD装置 PED-301 |
キヤノンアネルバ |
反応室 Φ300×200hmm 基板ホルダー：外径φ210mm 電極：Φ208mm 電極間隔：15〜50mm可変 使用ガス：SiH4(100sccm)・NH3(100sccm)・N2(300sccm)・H2(300sccm)・N2O(300sccm) |
1991年 | ****** |
| 1693 | スパッタ装置 SBH-2206RDE |
アルバック |
スパッタ室 Φ600×300hmm マグネトロンΦ6”×2基 RF 2kW DC 3kW 真空計付 基板加熱有 DP 10”RP 900L/min |
1986年 | ****** |
| 1694 | 自動整合器 DMK45 |
京三製作所 |
27.12MHz 4.5KW 自動タイプ 冷却方式 水冷 |
2000年 | ****** |
| 1696 | ロードロックスパッタ装置 SPF-420H・L |
キヤノンアネルバ |
ターゲットΦ6” 2基 基板加熱 150℃・200℃ DC4.5kW RF1.5kW 逆スパッタ付 クライオ8”×2台 RP 610L/min |
1985年 | ****** |
| 1699 | ロードロック付ドライエッチング装置 L-210D-L |
キヤノンアネルバ |
SUSチャンバー Φ200×160hmm エッチング電極 φ120mm RF 500W ターボ 200L/s 50L/s RP 280L/min 90L/min |
1993年 | ****** |
| 1705 | ロードロックスパッタ装置 L-430S-FHL |
キヤノンアネルバ |
SUSチャンバー W1020×D480×180hmm ターゲットΦ4” 3基 RF600W 基板加熱 300℃ クライオ 1600L/s RP 500L/min |
1998年 | ****** |
| 1707 | ドライエッチング装置 CSE-1110 |
アルバック |
SUSチャンバー Φ450×200hmm RIE、エッチングアップ方式 電極Φ250 1基 RF電源 500W DP6” メカブ 100m3/h RP 300L/min 650L/min |
1985年 | ****** |
1711 |
真空蒸着装置 SBC-08C |
昭和真空 |
SUSチャンバーΦ450×500hmm 前扉式 EB 5KW 4点 真空計付、膜厚計付 クライオ 8” RP 500/600L/min |
1996年 | ****** |
| 1712 | Heリークディテクタ HELEN A250M-LD |
キヤノンアネルバ |
電子デバイス用 最小可変リーク量 2×10-11Pa.m3/s以下 排気系 ターボ RP 重量 約165kg |
1998年 | ****** |
| 1720 | 高周波電源 RP1000C |
パール工業 |
13.56MHz 1000W 外形寸法 W480×D656×200hmm 自動整合器付 入力 200V 1相 |
1996年 | ****** |
| 1725 | スパッタ装置 SPP-410H |
キヤノンアネルバ |
スパッタ室 Φ400×140hmm マグネトロン6”1基 RF 3KW 基板加熱有 基板自公転冶具(2” 8枚×3基） DP 6”RP 600L/min |
1980年 | ****** |
| 1738 | スパッタ装置 SH-350 |
アルバック |
スパッタ室 Φ500×250hmm マグネトロンΦ4”×3基 逆スパッタ付 RF 1000W 真空計付 基板回転有 DP 6” RP 618L/min |
1988年 | ****** |
| 1740 | Heリークディテクタ HELIOT301 |
アルバック |
標準タイプ サンプル容量3L以下 感度 10-12〜10-4Pa.m3/s 排気系 ターボ RP 重量 約39kg |
1997年 | ****** |
1745 |
高周波電源 RP200 |
パール工業 |
13.56MHz 200W 外形寸法 W480×D455×149hmm 重量 28kg 自動整合器付 入力 200V 1相 |
1990年 | ****** |
| 1746 | ドライエッチング装置 RIB-310 |
キヤノンアネルバ |
ロードロック型 ECRイオン源 プラズマ径 Φ50mm 試料 Φ50mm マイクロ波 2450MHz 600W DP 10” RP 1100L/min 300L/min |
1984年 | ****** |
| 1752 | スパッタ装置 SPF-530H |
キヤノンアネルバ |
スパッタ室 W1200×D580×250hmm （基板ホルダーφ410mm） マグネトロンΦ6”×3基 RF 1200W×3台 真空計付 基板加熱有 クライオ 4000L/s RP 1180L/min |
1996年 | ****** |
1753 |
パルスDC電源 RPG-50 |
ENI |
スパッタ用 50〜250kHz 5kW バイポーラパルスDC 電源本体 W480×D631×132.5hmm ケーブル別 |
2003年 | ****** |
| 1754 | スパッタ装置 SPC-530H |
キヤノンアネルバ |
スパッタ室560W×560D×620hmm 5”×15”カルーセル型 3基 RF 3KW 真空計付 CP 4000L/s RP 1000L/min |
1980年 | ****** |
| 1755 | スパッタ装置 SPF-730H |
キヤノンアネルバ |
スパッタ室 W1200×D580×250hmm マグネトロンΦ8”×3基 RF 1200W×3台 真空計付 基板加熱有 DP 3700L/sec RP 1100L/min |
1986年 | ****** |
| 1759 | 高周波電源 OEM-1250 |
ENI |
13.56MHz 1.25kW 外形寸法 430×400×200hmm 整合器無し 入力 200V 1相 |
1999年 | ****** |
| 1760 | 自動整合器 TAT-11 |
トッキ |
13.56MHz 1.5KW 自動タイプ 冷却方式 水冷 |
1999年 | ****** |
| 1764 | 高周波電源 OEM-1250 |
ENI |
13.56MHz 1.25kW 外形寸法 430×400×200hmm 整合器無し 入力 200V 1相 |
2000年 | ****** |
1765 |
高周波電源 AX1000AMII |
ADTEC |
13.56MHz 1KW 空冷 外形寸法 430W×536D×220hmm 整合器別 入力 200V 3相 |
1995年 | ****** |
| 1767 | スイープコントローラ EGP-212S |
キヤノンアネルバ |
コイル電源出力 AC X 2Ap-p周波数:50〜100Hz Y 2Ap-p 周波数:5〜10Hz 外形寸法 W265×D549×149hmm 入力 AC200V 1相 |
2004年 | ****** |
1768 |
高周波電源 JEH005TS |
日本電子 |
13.56MHz 500W 外形寸法 480W×500D×200hmm 自動整合器付 入力 200V 1相 |
1998年 | ****** |
| 1769 | 電子銃用電源 JST-3F |
日本電子 |
高電圧 DC -4〜-8kV 最大出力 6.4KW X・Y軸スイープ付 外形寸法 570W×760D×1545hmm |
1998年 | ****** |
| 1770 | 高周波電源 CESAR1320 |
AE |
13.56MHz 2kW 外形寸法 W482×D550×133hmm 整合器無し 水冷 |
2005年 | ****** |
| 1771 | 高周波電源 AX1000 |
ADTEC |
13.56MHz 1KW 空冷 外形寸法 430W×536D×220hmm 整合器別 入力 200V 3相 |
1994年 | ****** |
| 1772 | スパッタ装置 SPC-530H |
キヤノンアネルバ |
スパッタ室 560W×560D×620hmm 5”×15”カルーセル型 2基 RF 3KW 真空計付 CP 4000L/s RP 1000L/min |
1982年 | ****** |
| 1773 | スパッタ装置 SPC-530H |
キヤノンアネルバ |
スパッタ室 560W×560D×620hmm 5”×15”カルーセル型 3基 DC 3KW 真空計付 CP 4000L/s RP 1000L/min |
1981年 | ****** |
1775 |
真空蒸着装置 BMC-900T |
シンクロン |
チャンバーΦ900×1240hmm EB 24点式 10KW EB電源 抵抗加熱10kVA 真空計 基板加熱MAX350℃ 常用300℃ イオンガン φ120mm DP 18”(2) MBP ドライポンプ |
1998年 | ****** |
| 1776 | スパッタ装置 SPF-312H |
キヤノンアネルバ |
スパッタ室 Φ350×250hmm マグネトロンΦ6”×1基 RF 500W 真空計付 基板加熱有 DP 4”RP 260L/min |
1991年 | ****** |
1780 |
電子銃用電源 EGP-230 |
キヤノンアネルバ |
最大出力：3KW 出力電圧：DC 0〜5kV 出力電流（エミッション）：0〜600mA フィラメント出力：AC8V/6V×35A（内部コネクタにて切換） |
1994年 | ****** |
| 1781 | スイープコントローラ EGP-212S |
キヤノンアネルバ |
コイル電源出力 AC 4台有 X 2Ap-p周波数:50〜100Hz Y 2Ap-p 周波数:5〜10Hz 外形寸法 240(190)W×550D×150hmm 入力 AC200V 1相 |
1994年 | ****** |
1782 |
電子銃用電源 JST-16F |
日本電子 |
DC-4〜-10kV 0〜1.6A 最大出力 16KW 外形寸法 570W×760D×1545hmm |
2015年 | ****** |
1783 |
高周波電源 RFS-1305A |
アルバック |
13.56MHz 500W 空冷 外形寸法 430W×450D×149hmm 自動整合器付 入力 200V 3相 |
2008年 | ****** |
| 1784 | 高周波電源 TX10-0090 |
ADTEC |
13.56MHz 1KW 空冷 外形寸法 215W×498D×145hmm 自動整合器付 入力 200V 3相 |
2015年 | ****** |
| 1785 | 高周波電源 TX03-0090 |
ADTEC |
13.56MHz 300W 空冷 外形寸法 215W×498D×145hmm 自動整合器付 入力 200V 3相 |
2015年 | ****** |
| 1787 | 真空蒸着装置 EBH-6 |
アルバック |
SSベルジャー Φ450×450hmm 抵抗3基 100A DP 6” RP 330L/min 装置寸法 W1130×D850×2450hmm |
1972年 | ****** |
| 1788 | スパッタ装置 SH-350E |
アルバック |
スパッタ室 Φ500×220hmm マグネトロンΦ4”×3基 デポアップ 逆スパッタ付 DC 2kW RF 0.5kW 真空計付 基板回転 基板加熱300℃ CP 6” RP 309/253L/min |
1999年 | ****** |
| 1789 | ランプ加熱装置 VHC-P610/7085 |
真空理工（アドバンス理工） |
熱処理ゾーンφ50×100hmm max 1300℃ 均熱ゾーンφ40×80hmm 100℃から1000℃ RP 150L/min 温度コントローラー |
1987年 | ****** |
| 1790 | 高周波電源 RFK-30ZC |
京三製作所 |
13.56MHz 3KW 水冷 外形寸法 480W×600D×199hmm 自動整合器付 入力 200V 3相 4台有 |
2000年 | ****** |
| 1792 | 電子銃用電源 JST-10F |
日本電子 |
高電圧 DC -4kV〜-10kV 0〜1A 最大出力 10KW X・Y軸スイープ付 外形寸法 W570×D760×1545hmm |
1998年 | ****** |
| 1793 | 電子銃 JEBG-102RH4G1 |
日本電子 |
180° 10kW Φ61×15mmh EBG-10DR4 回転ルツボ 適用電源 ：JST-3F、JST-10F、JST-16F 2台有 |
1998年 | ****** |
| 1794 | 電子銃 JEBG-102UH0 |
日本電子 |
180° 10kW ハース ループタイプ 適用電源 ：JST-3F、JST-10F、JST-16F |
1998年 | ****** |
| 1795 | 真空蒸着装置 ACE-1150DSN |
シンクロン |
チャンバー内寸 約1100W×約1000D×約1200hmm EB φ40×15mm 30点式×2 EB電源 10kW 光学式膜厚計 OPM-8 基板加熱 MAX350℃（250℃基準） DP 20”2台 メカブ 600m3/h ドライポンプ 2400L/m |
2005年 | ****** |
1796 |
真空蒸着装置 LDCU-36PV-120 |
芝浦 |
チャンバー1200D×1240W×1480hmm 蒸発源 抵抗加熱式フィラメント 蒸発電源 10V 1500A 15kVA DP 36” MB 40000L/min RP 7500L/min台 |
1974年 | ****** |
1797 |
真空排気セット ST350（特） |
大阪真空 |
ターボ分子ポンプ TH350 油回転ポンプ 310/260L/min 外形寸法：400W×650D×(540hmm+205hmm) |
1994年 | ****** |
1800 |
リターンバック式スパッタリング装置 SPL-342V |
キヤノントッキ |
5”×10”×2枚 2種類 プレーナマグネトロンカソード 成膜有効範囲 W300×H130 基板加熱 MAX200℃ 常用150℃ DC電源 出力6kW 400〜1000VDC 排気系 CP+RP |
2011年 | ****** |
| 1801 | DC電源 MDX Pinnacle |
AE |
6KW デュアル出力 外形寸法 W485×D565×135hmm 入力 200V 3相 ケーブル別 2台有 |
2001年 | ****** |
1802 |
高周波電源 RFXII-1250 |
AE |
13.56MHz 1250W 外形寸法 W267×D216×178hmm 整合器 TCM/AZX40 入力 200V 1相 |
1995年 | ****** |
| 1803 | パルスDC電源 RPG-100 |
ENI |
スパッタ用 50〜250kHz 10kW バイポーラパルスDC 入力 200V 3相 ケーブル別 2台有 |
1997年 | ****** |
| 1804 | DC電源 MDX 5K |
AE |
出力 5000W 入力 380V/415V 3相 空冷 電源本体 W485×D565×175hmm |
1995年 | ****** |
| 1805 | 電子銃 JEBG-102UH0 |
日本電子 |
180° 10kW ルツボ24点 適用電源 ：JST-3F、JST-10F、JST-16F |
1998年 | ****** |
1806 |
Heリークディテクタ HELEN M-222LD-D |
キヤノンアネルバ |
テストポート KF25 最小可変リーク量 10-12Pa.m3/s台 排気系 ターボ スクロールポンプ 重量 75kg |
2006年 | ****** |
1807 |
電子銃 BS60030DGN |
日本電子 |
270° 10kW XYスキャン幅/ポジション移動 最大Φ40mm（-6kVの時） ルツボ なし 適用電源 ：JST-3F、JST-10F、JST-16F |
2007年 | ****** |
1808 |
真空蒸着装置 BMC-800T |
シンクロン |
チャンバーΦ800×1100hmm(有効高さ1040mm） EB 6点式 EB電源 JST-3F 真空計 光学式膜厚計 OPM-8 基板加熱 MAX350℃（300℃基準） DP 18”（2台） RP |
1990年 | ****** |
1809 |
Heリークディテクタ HELIOT 701W1 |
アルバック |
最小可変リーク量 10-13Pa.m3/s（スーパーファインリークフロー設定） 排気系 複合分子ポンプ RP ハンディリモートコントローラ RCH7 寸法 W480×D335×505hmm |
2003年 | ****** |
| 1812 | スパッタ装置 BSC-10021T |
シンクロン |
スパッタ室 W1040×D970×H1600mm 5”×42” カルーセル型 2基 DC10kW CP×2 MBP+RP |
1998年 | ****** |
| 1813 | 高周波電源 RFK-30ZC |
京三製作所 |
13.56MHz 3KW 水冷 外形寸法 480W×600D×199hmm 自動整合器付 入力 200V 3相 |
1999年 | ****** |
1814 |
パルスDC電源 Pinnacle plus |
AE |
5KW 電圧範囲 325〜800VDC、5kHz〜350kHzパルス 最大電流 15.4A 入力 200/208VAC 3相 |
2013年 | ****** |
| 1815 | 高周波電源 RF-650 |
東京ハイパワー |
13.56MHz 0〜500W 空冷 外形寸法 W220×D350×99hmm 出力コネクタ同軸N-R型 入力AC200V |
2011年 | ****** |
| 1816 | 真空蒸着装置 EBX-6D |
アルバック |
SUSチャンバーΦ500×600hmm 前扉式 抵抗加熱 3点 真空計 公転冶具付 DP 6” RP 600L/min |
1985年 | ****** |
| 1817 | スパッタ装置 SPC-530H |
キヤノンアネルバ |
スパッタ室 560W×560D×620hmm 5”×15”カルーセル型 2基 RF 3KW 真空計付 CP 4000L/s RP 1000L/min |
1985年 | ****** |
| 1818 | ロードロックスパッタ装置 SDL3320 |
神港精機 |
SP室 SUSチャンバー φ350×300hmm LL室 SUSチャンバー W320×D400×200hmm ターゲットφ75mm 3基 DC3kW 基板加熱 300℃ ターボ 280L/s SP 500L/min |
2001年 | ****** |
| 1819 | ドラム式スパッタ装置 SV-4540-C12 |
アルバック |
スパッタ室 φ630×640hmm 5”×18”プレーナマグネトロン サイドスパッタ方式 RF 3KW 真空計付 CP12” MBP RP |
2001年 | ****** |
1821 |
DC電源 HPK-10ZI |
京三製作所 |
スパッタ用 10KW 入力 200V 3相 電源本体 W480×D600×150hmm 重量 45kg |
2001年 | ****** |
| 1822 | DC電源 HPK-15ZI |
京三製作所 |
スパッタ用 15KW 入力 200V 3相 電源本体 W480×D690×175hmm 重量 60kg |
1998年 | ****** |
| 1823 | 高周波電源 JRF-1500 |
日本電子 |
13.56MHz 1.5kW 外形寸法(本体） W440×D410×170hmm 自動整合器付 入力 200V 3相 |
1996年 | ****** |
| 1824 | 走査型プローブ顕微鏡 JSPM-5400B |
日本電子 |
分解能：面内0.1nm 垂直0.01nm 試料サイズ：50mmx50mmx5tmm（最大） 10mmx10mmx3tmm（標準） |
2005年 | ****** |
| 1826 | スパッタ装置 SPF-410H |
キヤノンアネルバ |
スパッタ室 Φ400×140hmm マグネトロン10”1基 RF 5KW 逆スパッタ付 真空計付 基板加熱有 CP RP 600L/min |
1991年 | ****** |
| 1827 | DC電源 TruPlasma MF3030 |
HUTTINGER |
スパッタ用 30KW 20〜100kHz 900V〜1700V 水冷 入力 200V 3相 電源本体 W440×D800×485hmm ケーブル別 2台有 |
2011年 | ****** |
| 1828 | DC電源 PDC-028 |
キヤノンアネルバ |
スパッタ用 2.5KW 電圧 700V 5.56A 入力 200V 15A 3相 コントローラー DC P.S コントローラー 電源本体 480×550×99hmm |
2000年 | ****** |
| 1829 | 自動整合器 EH-MN005A |
日本電子 |
13.56MHz 500W 本体寸法：300Wx300Dx280hmm コントローラー寸法：140Wx305Dx145hmm |
1996年 | ****** |
| 1830 | DC電源 TruPlasma DC3030 |
HUTTINGER |
スパッタ用 30KW 最大電圧800V/45A 空冷 入力 200V 3相 電源本体 W482×D732×275hmm ケーブル別 |
2010年 | ****** |
| 1831 | DC電源 HPK-15ZI |
京三製作所 |
スパッタ用 45KW 1000V/75A 入力 200V 3相 電源本体 W480×D690×175hmm ×3 重量 60kg ×3 |
2009年 | ****** |
| 1832 | DC電源 HPK-15ZI |
京三製作所 |
スパッタ用 45KW 500V/150A 入力 200V 3相 電源本体 W480×D690×175hmm ×3 重量 60kg ×3 |
2009年 | ****** |
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