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多目的な薄膜作成を可能にする操作性の優れたバッチ方式。
安定した生産に応える実績ある排気系。
冷却水量：35L／m
設置スペース：3000W×4000D×2600Hmm
重量：2700Kg
| リストNO | 1808 |
|---|---|
| 品名 型式 |
真空蒸着装置 BMC-800T |
| メーカー | シンクロン |
| 仕様1 | チャンバーΦ800×1100hmm(有効高さ1040mm） |
| 仕様2 | EB 6点式 EB電源 JST-3F 真空計 |
| 仕様3 | 光学式膜厚計 OPM-8 基板加熱 MAX350℃（300℃基準） |
| 仕様4 | DP 18”（2台） RP |
| 製造年 | 1990年 |
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