マスフローコントローラー:グリーンテック

マスフローコントローラー
1000シリーズ

高性能ガス流量制御器

マスフローコントローラーの基本機能に特化したアナログ低価格モデルです。 各種分析・成膜・理化学などの実験研究・製造用途など幅広い分野でご使用頂けます。
表示設定器付専用電源PA01はこちら>>
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  • マスフローコントローラーの基本機能に特化した低価格モデル
  • スタート時のフローサージ現象(オーバーシュート)を抑制
    (30秒以上のインターバルが必要)
  • 入出力:アナログ 0〜5VDC
  • 据置型専用電源【PA01S】とパネルマウント型専用電源【PA01PS】2種類をご用意
マスフローコントローラー1000Series

■仕様

型式 C1000(マスフローコントローラー)
流量レンジ 10/20/30/50/100/200/300/500SCCM
1/2/3/5SLM
流体 気体
バルブ型式 ノーマルオープン
流量制御範囲 5〜100%F.S.
流量精度 ±2%F.S.(精度保証範囲 15〜35℃)
再現性 ±0.2%F.S.
応答性 6sec(設定値の±2%まで)
動作圧力範囲 50〜300kPa
耐圧 1MPa(G)
外部リークレート 1×10-7Pa・m3/sec(He)以下
使用可能温度 5〜50℃ 85%RH以下
(精度保証:15℃〜35℃)
駆動電源 +15VDC±5% 60mA
-15VDC±5% 150mA
通信方式 アナログ 0〜5VDC
(D-Sub 9Pin コネクタ-)
接ガス部材質 SUS316 PTFE フッ素ゴム
シール部材質 フッ素ゴム
表面処理 機械加工仕上げ
継手 1/4SWL(スウェージロック),フジキン製その他の継手についてはご相談下さい。

※流量(SCCM.SLM)は0℃、101.3kPa abs.(1atm)に換算して校正しています。


■品番表示例

C1005 - 10 - 4SWL - Ar - 1 - PA01S
C1005 - 流量:10SCCM - 継手:1/4スウェージロック - ガス種:Ar - 信号ケーブル長さ:1m - 専用電源:据置型

流量 10/20/30/50/100/200/300/500SCCM
1/2/3/5SLM
接続継手 1/4 SWL(スウェージロック) 他
ガス種 例: N2・Ar・O2等
信号ケーブル 標準1m

表示設定器付専用電源 PA01シリーズ

マスフローコントローラー:グリーンテック

表示設定器付専用電源
PA01シリーズ

  • 低価格
  • 流量設定と表示のみのシンプル設計で操作が簡単。
  • 正面のデジタルパネルは、%表示(0〜100.0%)です。
  • 背面に設定及び出力電圧(0〜5VDC)の出力端子を標準装備。

■仕様

型式 PA01シリーズ
入力電源 AC100V
電源出力 0〜5VDC:設定信号
+15VDC 300mA  -15VDC 200mA
流量設定 0.25〜5VDC
10回転ポテンションメーターにて可変
流量設定/出力表示 0.0〜100.0%
表示切替(設定/出力) トグルスイッチ
信号ケーブル用コネクター D-Sub 9PIN コネクター
使用環境 温度:5〜50℃
湿度:30〜80%(結露なきこと)
出力端子(設定/出力) 0〜5VDC(表示切替トグルスイッチに連動)
付属品 ACコード(2m)
信号ケーブル(標準1m)

【 据 置 型 PA01S】

表示設定器付専用電源 PA01

【 パネルマウント型 PA01PS】

表示設定器付専用電源 PA01
表示設定器付専用電源 PA01

【 設 置 例 】

表示設定器付専用電源 PA01

制御電源一体型マスフローコントローラー CUBEMFCシリーズ

マスフローコントローラー:グリーンテック

制御電源一体型マスフローコントローラー CUBEMFCシリーズ

  • 低価格マスフローコントローラー1000シリーズと制御電源をコンパクトにオールインワンした制御電源一体型マスフローコントローラーです。
  • コンパクトサイズで、100V ACコンセントに接続するだけでご使用頂けます。
  • スタート時のオーバーシュートを抑制(30秒以上のインターバルが必要)
  • 入出力:アナログ(0〜5VDC)、背面に設定/出力電圧のモニター用端子を装備。

■仕様

型式 CUBEMFC1005
流量(N2換算流量) 10,20,30,50,100,200,300,500SCCM
1,2,3,5SLM
バルブタイプ NO:ノーマルオープン(メーターの場合は対象外)
制御流量範囲 5〜100% F.S(メーターの場合は対象外)
流量精度 ±2% F.S(精度保証範囲15〜35℃)
流量設定 0.25〜5VDC、10回転ポテンションメーターにて可変
流量設定・出力信号/表示 0〜5VDC/DP表示:スケーリング表示(トグルスイッチにて設定・出力表示切替、背面設定・出力モニター端子連動)
再現性 ±0.2% F.S
応答時間 6sec
必要差圧 50〜300KPa
耐圧力 1MPa(G)
使用保証温度 5〜50℃、85%RH以下
外部リーク 1×10-7Pa・m3/sec He
電源、消費電流 100VAC:500mA
通信方式 アナログ:0〜5VDC
接ガス部材質 SUS316L、PTFE、フッ素ゴム
シール部材質 フッ素ゴム
アクチュエータ方式 サーマル(メーターの場合は対象外)
表面処理 機械加工仕上げ
接続継手 1/4SWL(スウェージロック),フジキン製その他の継手についてはご相談下さい。
付属品 ACケーブル、取扱説明書

■品番表示例

CUBEMFC1005 - 10 - 4SWL - Ar
CUBEMFC1005-流量:10sccm-継手:1/4スウェージロック-ガス種 Ar

流量 10/20/30/50/100/200/300/500SCCM
1/2/3/5SLM
接続継手 1/4 SWL(スウェージロック) 他
ガス種 例: N2・Ar・O2等

制御電源一体型マスフローコントローラー CUBEMFCシリーズ

制御電源一体型マスフローコントローラー CUBEMFCシリーズ

制御電源一体型マスフローコントローラー CUBEMFCシリーズ