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コントローラー付
RF入力コネクター HN
入力インピーダンス 50Ω（整合時）
整合器は高周波電源と組み合わせて、高周波スパッタリング装置、プラズマCVD装置、エッチング装置等の励起用電源システムとして使用されます。
整合回路無くして負荷に有効な電力を供給出来ません。
| リストNO | 1660 |
|---|---|
| 品名 型式 |
自動整合器 DMK-18 |
| メーカー | 京三製作所 |
| 仕様1 | 27.12MHz 1.8kW |
| 仕様2 | 自動タイプ |
| 仕様3 | 冷却方式 水冷 |
| 仕様4 | 2台有 |
| 製造年 | 2000年 |
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