スパッタ装置 BSC-10021T

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商品情報

リストNO 1812
品名
型式
スパッタ装置
BSC-10021T
メーカー シンクロン
仕様1 スパッタ室 W1040×D970×H1600mm
仕様2
5”×42” カルーセル型 2基
仕様3 DC10kW
仕様4 CP×2 MBP+RP
製造年 1998年

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