真空蒸着装置 EBX-10C

■画像をクリックすると拡大写真が表示されます

詳細情報

本装置は、半導体素子やディスプレーパネル等の蒸着膜に使用されるものです。
真空槽は円筒2分割型となっており、槽の半分が開閉出来る構造となっているため、量産用の装置として使用可能で、日常の槽内クリーニングが容易です。

所要冷却水：2kg/cm2G　10ℓ/min
所要空圧：5kg/cm2G

基板ホルダー寸法 φ430mm
有効成膜範囲　 φ350mm

外形寸法：
本体　約1520W×880D×1830H

重量 約1000kg

商品情報

リストNO 1619
品名
型式		 真空蒸着装置
EBX-10C
メーカー アルバック
仕様1 SUSチャンバーΦ650×800hmm
仕様2
前扉式 抵抗加熱 3基
仕様3 真空計 膜厚計 公転冶具付
仕様4 クライオ 10” RP 950L/min
製造年 1982年

ユーザー登録がお済みでない方

価格を表示するにはユーザー登録が必要です。

ユーザー登録済みの方

ID、パスワードをお忘れの方はこちらまで >>。