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電源質量 50kg
本高周波電源は、高周波スパッタリング、プラズマCVD、エッチングなどの用途に適する物です。
高周波負荷に対して13.56MHzで最大3kWの高周波電力を供給出来ます。
| リストNO | 1813 |
|---|---|
| 品名 型式 |
高周波電源 RFK-30ZC |
| メーカー | 京三製作所 |
| 仕様1 | 13.56MHz 3KW 水冷 |
| 仕様2 | 外形寸法 480W×600D×199hmm |
| 仕様3 | 自動整合器付 |
| 仕様4 | 入力 200V 3相 |
| 製造年 | 1999年 |
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