■画像をクリックすると拡大写真が表示されます
スパッタダウン方式
冷却水：
本体：5L/min
ターゲット：9L/min
クライオコンプレッサー：3L/min
ドレイン：3L/min
圧空：6〜8kg/cm2・G
ガス：Ar 100SCCM（供給圧 1kg/cm2・G）
O2 20SCCM（供給圧 1kg/cm2・G）
ベントガス：N2 約40L/サイクル（供給圧 1kg/cm2・G）クライオポンプ再生にも使用します。
重量
装置本体：約1100kg
油回転ポンプ：約100kg
制御架台：約200kg
電源架台：約200kg
クライオコンプレッサー：約100kg
| リストNO | 1752 |
|---|---|
| 品名 型式 |
スパッタ装置 SPF-530H |
| メーカー | キヤノンアネルバ |
| 仕様1 | スパッタ室 W1200×D580×250hmm （基板ホルダーφ410mm） |
| 仕様2 | マグネトロンΦ6”×3基 |
| 仕様3 | RF 1200W×3台 真空計付 基板加熱有 |
| 仕様4 | クライオ 4000L/s RP 1180L/min |
| 製造年 | 1996年 |
価格を表示するにはユーザー登録が必要です。
ID、パスワードをお忘れの方はこちらまで >>。
