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電力 200V 50A 3相 第三種アース
冷却水 PT1/4
圧空 PT1/4 6kg/cm2
ガス CL2・BCL3・N2（パージ）
外形寸法 1080Wmm×632Dmm×1360hmm
| リストNO | 1699 |
|---|---|
| 品名 型式 |
ロードロック付ドライエッチング装置 L-210D-L |
| メーカー | キヤノンアネルバ |
| 仕様1 | SUSチャンバー Φ200×160hmm |
| 仕様2 | エッチング電極 φ120mm RF 500W |
| 仕様3 | ターボ 200L/s 50L/s |
| 仕様4 | RP 280L/min 90L/min |
| 製造年 | 1993年 |
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