高周波電源 AX1000II

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詳細情報

重量 約48kg
出力コネクタ N型

本高周波電源は、高周波スパッタリング、プラズマCVD、エッチングなどの用途に適する物です。
高周波負荷に対して13.56MHzで最大1kWの高周波電力を供給出来ます。

商品情報

リストNO 1681
品名
型式
高周波電源
AX1000II
メーカー ADTEC
仕様1 13.56MHz 1KW 空冷
仕様2
外形寸法 430W×536D×220hmm
仕様3 整合器別
仕様4 入力 200V 3相
製造年 1996年

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