冷却水：
装置本体 2kg/cm2 5ℓ/min 25℃以下
電極 2kg/cm2 10ℓ/min 25℃以下
圧空：5〜8kg/cm2
電力：
装置本体 3Φ 200V 60A
RF電源 3Φ 200V 40A
ガス：Ar O2 N2
操作系タッチパネル。
| リストNO | 1754 |
|---|---|
| 品名 型式 |
スパッタ装置 SPC-530H |
| メーカー | キヤノンアネルバ |
| 仕様1 | スパッタ室560W×560D×620hmm |
| 仕様2 | 5”×15”カルーセル型 3基 |
| 仕様3 | RF 3KW 真空計付 |
| 仕様4 | CP 4000L/s RP 1000L/min |
| 製造年 | 1980年 |
価格を表示するにはユーザー登録が必要です。
ID、パスワードをお忘れの方はこちらまで >>。
