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排気系 DP4”メカブ30m3/h RP 260L/min
電力：AC200V 3φ 40A 50Hz/60Hz
冷却水：1.5〜3kgf/cm2 4ℓ/min 15〜25℃圧空：5〜6kgf/cm2
反応ガス：1kgf/cm2
N2ガス：2〜3kgf/cm2
重量：約550kg
| リストNO | 1689 |
|---|---|
| 品名 型式 |
プラズマCVD装置 PED-301 |
| メーカー | キヤノンアネルバ |
| 仕様1 | 反応室 Φ300×200hmm |
| 仕様2 | 基板ホルダー：外径φ210mm |
| 仕様3 | 電極：Φ208mm 電極間隔：15〜50mm可変 |
| 仕様4 | 使用ガス：SiH4(100sccm)・NH3(100sccm)・N2(300sccm)・H2(300sccm)・N2O(300sccm) |
| 製造年 | 1991年 |
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