スパッタ装置 SPC-530H

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詳細情報

冷却水:
装置本体 2kg/cm2 5ℓ/min 25℃以下
電極 2kg/cm2 10ℓ/min 25℃以下
圧空:5〜8kg/cm2

ガス:Ar N2

商品情報

リストNO 1817
品名
型式
スパッタ装置
SPC-530H
メーカー キヤノンアネルバ
仕様1 スパッタ室 560W×560D×620hmm
仕様2
5”×15”カルーセル型 2基
仕様3 RF 3KW 真空計付
仕様4 CP 4000L/s RP 1000L/min
製造年 1985年

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