スパッタ装置 SPC-530H

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詳細情報

冷却水：
装置本体　2kg/cm2　5ℓ/min　25℃以下
電極　2kg/cm2　10ℓ/min　25℃以下
圧空：5〜8kg/cm2

ガス：Ar N2

商品情報

リストNO 1772
品名
型式		 スパッタ装置
SPC-530H
メーカー キヤノンアネルバ
仕様1 スパッタ室 560W×560D×620hmm
仕様2
5”×15”カルーセル型　2基
仕様3 RF 3KW 真空計付
仕様4 CP 4000L/s RP 1000L/min
製造年 1982年

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