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精度±1％(F.S）、応答速度 2秒以内
| リストNO | 80112 |
|---|---|
| 品名 型式 |
マスフロー 1179A01312CS1BV |
| メーカー | MKS |
| 仕様1 | N2 100sccm |
| 備考 | 2台有 |
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