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精度 ±0.5％ 制御範囲 1〜100％
| リストNO | 80115 |
|---|---|
| 品名 型式 |
マスフロー MQV9200CSSS000100 |
| メーカー | アズビル（ヤマタケ） |
| 仕様1 | O2 200mL/min |
| 備考 | D.Pmax 0.3MPa |
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