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グリッドアセンブリを6式備え、長時間のメンテナンスフリーを実現。
冷却水量：交換機部 約2L/min
（銃・るつぼは含まず）
圧縮空気：500KPa(5Kg/cm2)
重量：約40Kg
用途：光学薄膜・オプトロニクス薄膜
| リストNO | 1574 |
|---|---|
| 品名 型式 |
電子銃 EBG-102F6RAC |
| メーカー | 日本電子 |
| 仕様1 | 180°偏向型 3KW |
| 仕様2 | フィラメント自動交換機構付き |
| 仕様3 | るつぼ別 |
| 仕様4 | 適用電源 ：JST-10F、JST-16F |
| 製造年 | 1989年 |
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