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基板サイズ φ3” 4枚/バッチ
外形寸法
装置本体 W1450×D900×1700hmm
排気系 W880×D670×1200hmm
| リストNO | 1707 |
|---|---|
| 品名 型式 |
ドライエッチング装置 CSE-1110 |
| メーカー | アルバック |
| 仕様1 | SUSチャンバー Φ450×200hmm |
| 仕様2 | RIE、エッチングアップ方式 |
| 仕様3 | 電極Φ250 1基 RF電源 500W |
| 仕様4 | DP6” メカブ 100m3/h RP 300L/min 650L/min |
| 製造年 | 1985年 |
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