スパッタ装置 SH-350

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詳細情報

電気
本機：AC200V 3φ 10.4KVA
RF：AC200V 3φ　2KVA

圧空
6kg/cm2G

冷却水
本機：2kg/cm2G　15ℓ/min　25℃以下
カソード径：2kg/cm2G　15ℓ/min　25℃以下

所要寸法重量
本機：1600W×900D×1660Hmm（上昇時2210Hmm)　900kg
操作盤：560W×800D×1840Hmm　300kg
RP：700W×350D×500Hmm　70kg

商品情報

リストNO 1738
品名
型式		 スパッタ装置
SH-350
メーカー アルバック
仕様1 スパッタ室　Φ500×250hmm
仕様2
マグネトロンΦ4”×3基　逆スパッタ付
仕様3 RF 1000W 真空計付 基板回転有
仕様4 DP 6” RP 618L/min
製造年 1988年

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