スパッタ装置 SPF-730H

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詳細情報

スパッタダウン方式

重量
装置本体：約1100kg
油回転ポンプ：約100kg
電源架台：約200kg

商品情報

リストNO 1755
品名
型式		 スパッタ装置
SPF-730H
メーカー キヤノンアネルバ
仕様1 スパッタ室　W1200×D580×250hmm
仕様2
マグネトロンΦ8”×3基　
仕様3 RF 1200W×3台 真空計付
基板加熱有
仕様4 DP 3700L/sec RP 1100L/min
製造年 1986年

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